[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板有效
| 申请号： | 201711031125.0 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107768241B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 刘军;黄勇潮;周斌;苏同上;程磊磊 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/28 | 分类号： | H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 胡艳华;李丹 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板，其中，该方法包括：形成金属薄膜；在金属薄膜上沉积保护薄膜；将暴露于保护薄膜外的金属进行刻蚀处理，以消除暴露于保护薄膜外的金属；剥离保护薄膜，本发明提供的技术方案通过在金属薄膜上沉积保护薄膜，使得金属薄膜表面高度较高的小丘处无法连续沉积而断裂露出小丘，继而对暴露于保护薄膜外的金属进行刻蚀，消除金属薄膜表面存在的小丘，提高了薄膜晶体管的性能和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：形成金属薄膜；在所述金属薄膜上沉积保护薄膜；将暴露于所述保护薄膜外的金属进行刻蚀处理；剥离所述保护薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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