[发明专利]一种衬底结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201710890752.3 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107742664A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 邓游 | 申请（专利权）人： | 宝鸡圭彬光电设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 721013 陕西省宝*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种衬底结构，包括衬底、外延层、电流扩展层和电极，外延层置于衬底之上，电流扩展层置于外延层之上，电极置于电流扩展层之上。本发明还公开了该衬底结构的制备方法。本发明一种衬底结构通过采用镁铝尖晶石作为衬底材料，由于镁铝尖晶石晶体具有良好的晶格匹配和热膨胀匹配，与氮化镓晶格的失配率较蓝宝石大大降低；且具有优良的热稳定性和化学稳定性，以及良好的机械力学性能等优点，可以使得最终制得的光电器件具有更低的位错密度和更好的折射率匹配，可以在不增大光电器件尺寸的前提下有效提高出光效率，更适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底结构，其特征在于，包括衬底(1)、外延层(2)、电流扩展层(3)和电极(4)，外延层(2)置于衬底(1)之上，电流扩展层(3)置于外延层(2)之上，电极(4)置于电流扩展层(3)之上。
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