[发明专利]用于衬底处理系统的装载站和衬底处理工具

摘要

本发明涉及用于衬底处理系统的装载站，含第一和第二竖直堆叠的装载站。第一装载站含第一气锁容积及布置在第一装载站相应端部的第一和第二阀。第一和第二阀构造成选择性提供到第一气锁容积的路径并包括分别构造成打开和关闭第一阀和第二阀的第一和第二致动器且第一和第二致动器从第一装载站向下延伸。第二装载站含第二气锁体积及布置在第二装载站相应端部的第三和第四阀。第三和第四阀构造成选择性提供到第二气锁容积的路径并包括分别构造成打开和关闭第三和第四阀的第三和第四致动器。涉及衬底处理工具，包括装载站；与装载站相邻的第一处理模块，其中第一处理模块配置为经由装载站接收晶片；和布置在第一处理模块上方的第二处理模块。

主权项

一种用于衬底处理系统的装载站，所述装载站具有竖直堆叠配置，并且包括：第一装载站，所述第一装载站包括第一气锁容积，和布置在所述第一装载站的相应端部处的第一阀和第二阀，其中所述第一阀和所述第二阀被配置为选择性地提供到所述第一气锁容积的路径，其中所述第一阀和所述第二阀包括分别构造成打开和关闭所述第一阀和所述第二阀的第一致动器和第二致动器，并且其中所述第一致动器和所述第二致动器从所述第一装载站向下延伸；和第二装载站，其布置在所述第一装载站的上方并与所述第一装载站相邻，所述第二装载站包括第二气锁容积，和布置在所述第二装载站的相应端部处的第三阀和第四阀，其中所述第三阀和所述第四阀被配置为选择性地提供到所述第二气锁容积的路径，其中所述第三阀和所述第四阀包括分别构造成打开和关闭所述第三阀和所述第四阀的第三致动器和第四致动器。