[发明专利]金属层功函数的检测方法及其检测系统

摘要

一种金属层功函数的检测方法及其检测系统，检测方法包括：提供基底，包括衬底、以及位于衬底上的待测金属层，衬底具有衬底功函数；提供输出功率至少为100瓦的光源；提供参比电极；关闭光源，获得待测金属层与参比电极之间的第一接触电势差；打开光源，对待测金属层表面进行照射，获得待测金属层与参比电极之间的第二接触电势差；根据第一接触电势差和第二接触电势差之间的差值，获得待测金属层的表面势垒电势差；根据衬底功函数和表面势垒电势差之间的差值，获得待测金属层的功函数。本发明在检测第二接触电势差时，采用输出功率至少为100瓦的光源对待测金属层表面进行照射，从而消除金属层等电势屏蔽效应，进而提高待测金属层的功函数检测精度。

主权项

1.一种金属层功函数的检测方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括衬底、以及位于所述衬底上的待测金属层，所述衬底具有衬底功函数；提供光源，所述光源的输出功率至少为100瓦；提供参比电极；关闭所述光源，获得所述待测金属层与所述参比电极之间的第一接触电势差；打开所述光源，对所述待测金属层表面进行照射，获得所述待测金属层与所述参比电极之间的第二接触电势差；根据所述第一接触电势差和所述第二接触电势差之间的差值，获得所述待测金属层的表面势垒电势差；根据所述衬底功函数和所述表面势垒电势差之间的差值，获得所述待测金属层的功函数。