[发明专利]铜蒸发料的表面处理方法在审
| 申请号： | 201710397730.3 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108977770A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;C23G1/10;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铜蒸发料的表面处理方法，包括：提供铜蒸发料；对所述铜蒸发料进行第一酸洗操作；在所述第一酸洗操作后，对所述铜蒸发料进行离心研磨操作；在所述离心研磨操作后，对所述铜蒸发料进行清洗操作；在所述清洗操作后，对所述铜蒸发料进行干燥处理。在第一酸洗操作后，对铜蒸发料进行离心研磨操作，所述离心研磨操作能够去除所述铜蒸发料表面的铜氧化物、降低所述铜蒸发料的表面粗糙度、提高所述铜蒸发料的表面光亮度和光滑度、减少所述铜蒸发料的表面微孔，从而降低所述铜蒸发料与空气的接触面积，提高所述铜蒸发料的抗氧化能力，进而提高所述铜蒸发料的纯度，相应提高所述铜蒸发料的质量和性能，使镀膜质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 研磨 酸洗 清洗操作 表面粗糙度 抗氧化能力 表面微孔 干燥处理 铜氧化物 光滑度 镀膜 去除 | ||
【主权项】：
1.一种铜蒸发料的表面处理方法，其特征在于，包括：提供铜蒸发料；对所述铜蒸发料进行第一酸洗操作；在所述第一酸洗操作后，对所述铜蒸发料进行离心研磨操作；在所述离心研磨操作后，对所述铜蒸发料进行清洗操作；在所述清洗操作后，对所述铜蒸发料进行干燥处理。
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