[发明专利]铜蒸发料的表面处理方法在审
| 申请号： | 201710397730.3 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108977770A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;C23G1/10;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 研磨 酸洗 清洗操作 表面粗糙度 抗氧化能力 表面微孔 干燥处理 铜氧化物 光滑度 镀膜 去除 | ||
1.一种铜蒸发料的表面处理方法，其特征在于，包括：
提供铜蒸发料；
对所述铜蒸发料进行第一酸洗操作；
在所述第一酸洗操作后，对所述铜蒸发料进行离心研磨操作；
在所述离心研磨操作后，对所述铜蒸发料进行清洗操作；
在所述清洗操作后，对所述铜蒸发料进行干燥处理。
2.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，所述第一酸洗操作的步骤包括：采用第一酸洗溶液对所述铜蒸发料进行第一酸洗；
在对所述铜蒸发料进行第一酸洗后，采用纯水对所述铜蒸发料进行第一超声波清洗。
3.如权利要求2所述的表面处理方法，其特征在于，所述第一酸洗溶液为稀硝酸溶液。
4.如权利要求3所述的表面处理方法，其特征在于，所述稀硝酸溶液的体积浓度为20％至40％，所述第一酸洗的酸洗时间为1分钟至2分钟。
5.如权利要求2所述的表面处理方法，其特征在于，所述第一超声波清洗的清洗时间为10分钟至15分钟。
6.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，对所述铜蒸发料进行离心研磨操作的步骤包括：提供离心研磨机，所述离心研磨机包括研磨桶；
将所述铜蒸发料置于所述研磨桶中；
向所述研磨桶中加入研磨液；
向置有所述铜蒸发料和研磨液的研磨桶中加入水；
加入水后，将所述研磨桶装入研磨机内，对所述铜蒸发料进行离心研磨。
7.如权利要求6所述的表面处理方法，其特征在于，所述铜蒸发料的体积占所述研磨桶的容积的比例小于或等于2/3。
8.如权利要求6或7所述的表面处理方法，其特征在于，所述铜蒸发料的体积占所述研磨桶的容积的比例为1/3至2/3。
9.如权利要求6所述的表面处理方法，其特征在于，所述研磨液为含有椰油二乙醇酰胺的洗涤剂。
10.如权利要求6或9所述的表面处理方法，其特征在于，所述研磨液为洗洁精或洗手液。
11.如权利要求6所述的表面处理方法，其特征在于，所述研磨液的体积为10毫升至20毫升。
12.如权利要求6所述的表面处理方法，其特征在于，在所述离心研磨的步骤中，所述研磨桶的转速为150转/分钟至170转/分钟，研磨时间为10分钟至15分钟。
13.如权利要求6所述的表面处理方法，其特征在于，向置有所述铜蒸发料和研磨液的研磨桶中加入水后，水面至所述研磨桶顶部的距离为1厘米至2厘米。
14.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，在所述离心研磨操作后，对所述铜蒸发料进行清洗操作之前，还包括步骤：对所述铜蒸发料进行第二酸洗操作。
15.如权利要求14所述的表面处理方法，其特征在于，所述第二酸洗操作的步骤包括：采用第二酸洗溶液对所述铜蒸发料进行第二酸洗；
对所述铜蒸发料进行第二酸洗后，采用纯水对所述铜蒸发料进行第二超声波清洗。
16.如权利要求15所述的表面处理方法，其特征在于，所述第二酸洗溶液为稀硫酸溶液或稀盐酸溶液。
17.如权利要求15所述的表面处理方法，其特征在于，所述第二酸洗溶液为稀硫酸溶液，所述稀硫酸溶液的体积浓度为20％至30％，所述第二酸洗的酸洗时间为1分钟至2分钟。
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