[发明专利]曝光装置、器件制造方法有效
| 申请号： | 201710164773.7 | 申请日： | 2004-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106707699B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 马込伸贵;小林直行 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供曝光装置、器件制造方法。一种曝光装置，透过液体对基板照射曝光用光以使该基板曝光，具备：投影光学系统，将像透过液体透影；可动构件，支承该基板并移动；液体供应机构，从该可动构件的上方透过供应口对该投影光学系统下供应液体；以及液体回收机构，从该可动构件的上方透过吸引口将该供应的液体与气体一起回收；该液体回收机构具有收容从该吸引口回收且与气体分离的液体的槽、及检测收容在该槽的液体的量的检测器。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，透过液体对基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于，具备：投影光学系统，将像透过液体投影；可动构件，支承该基板并移动；液体供应机构，从该可动构件的上方透过供应口对该投影光学系统下供应液体；以及液体回收机构，从该可动构件的上方透过吸引口将该供应的液体与气体一起回收；该液体回收机构具有收容从该吸引口回收且与气体分离的液体的箱、及检测收容在该箱的液体的量的检测器。
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