[发明专利]一种类单晶籽晶的加工方法

摘要

一种类单晶籽晶的加工方法，包括以下步骤拉制单晶晶棒，用单晶开方机对其去除头部、尾部、侧部硅料，使其形成单晶方棒；将单晶方棒的部分籽晶横向切割成100面籽晶，部分籽晶切割成110面籽晶，并分别加以标识；分别对两种籽晶边部进行斜切，切割后的籽晶分为I类籽晶、II类籽晶；使斜切后的两种籽晶互相贴合成一平面，单晶籽晶加工完成以后进行阵列贴合处理，形成一个平面的两种籽晶较为平整，对坩埚底部没有冲击；籽晶上面正常铺设硅料开始铸锭，铸锭过程中通过半熔工艺保籽晶，最终铸锭成类单晶锭。本发明具有提高生产效率、质量、精度的特点。

主权项

一种类单晶籽晶的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）拉制单晶晶棒，用单晶开方机对其去除头部、尾部、侧部区域，使单晶晶棒形成单晶方棒；（2）将单晶方棒的部分籽晶水平切割成100面籽晶，部分籽晶切割成110面籽晶，并分别加以标识，100面与110面是两种不同晶向的单晶籽晶；（3）用斜角机分别对两种籽晶边部进行斜切，斜切后的单晶籽晶为两种梯形结构，分为I类籽晶、II类籽晶；（4）坩埚内铺设I类籽晶、II类籽晶，使斜切后的两种籽晶可以互相贴合成一较为平整的平面，从而对坩埚底部没有冲击；（5）坩埚内的籽晶上面正常铺设硅料开始铸锭，铸锭过程中通过半熔工艺保籽晶，使得工艺过程中硅液从上往下熔化时，可以有效抑制底部氮化硅粉或偶然产生的多晶引晶，从而达到减少晶锭整体位错增殖的目的，对底部籽晶形成保护，最终铸锭成类单晶锭。