[发明专利]一种MEMS加速度计及其制造工艺有效
| 申请号： | 201710140855.8 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN107064555B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 胡宗达;李航;于连忠;杨燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军;耿慕白 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS加速度计，上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，所述加速度检测结构包括：谐振梁以及驱动电极；所述谐振梁的两侧形成有梳齿；所述谐振梁一侧的梳齿与所述驱动电极相叠加；另一侧的梳齿与所述质量块上的梳齿相叠加；所述驱动电极向所述谐振梁施加电驱动信号，所述加速度检测结构通过检测谐振梁的谐振频率来检测加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度计 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速度计，包括：上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，其特征在于，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，所述加速度检测结构包括：谐振梁以及驱动电极；所述谐振梁的两个末端分别与锚点相连接；所述谐振梁的两侧形成有梳齿；所述谐振梁一侧的梳齿与所述驱动电极相叠加；谐振梁另一侧的梳齿与所述质量块上的梳齿相叠加；所述驱动电极向所述谐振梁施加电驱动信号，使得所述谐振梁振动，所述加速度检测结构通过检测谐振梁的振动频率来检测加速度。
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