[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201680083276.8 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN109072401B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 西田光志;岸本克彥 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种在蒸镀材料蒸镀后，可以统一且以确实短的时间执行蒸镀掩膜的分离的蒸镀方法、蒸镀掩膜及蒸镀装置。包括：形成蒸镀掩膜(1)的步骤(S1)，所述蒸镀掩膜(1)具有至少一部分由强磁性体构成的金属层(金属支承层)；磁化金属层的步骤(S2)，通过对蒸镀掩膜(1)的金属层施加电磁场来磁化金属层；吸附步骤(S3)，被蒸镀基板(2)与蒸镀掩膜(1)的位置对准后，使电磁石(3)中间夹住被蒸镀基板(2)吸附蒸镀掩膜(1)；堆积步骤(S4)，在蒸镀掩膜(1)的对置侧配置蒸镀源(5)，从蒸镀源(5)蒸发蒸镀材料，在被蒸镀基板(2)上堆积蒸镀材料；以及分离步骤(S5)，通过使电磁石(3)产生排斥蒸镀掩膜(1)的磁场，从蒸镀掩膜(1)分离电磁石(3)及被蒸镀基板(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 装置 方法 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀方法，其特征在于包括以下步骤：形成蒸镀掩膜步骤，形成具有至少一部分由强磁性体构成的金属层的蒸镀掩膜；磁化金属层步骤，对所述蒸镀掩膜的金属层施加磁场，磁化所述金属层；吸附步骤，被蒸镀基板与蒸镀掩膜位置对准后，使电磁石与蒸镀掩膜中间夹住被蒸镀基板吸附；堆积步骤，在所述蒸镀掩膜的对置侧配置蒸镀源，从所述蒸镀源蒸发蒸镀材料，在所述被蒸镀基板上堆积蒸镀材料；以及分离步骤，通过使所述电磁石产生排斥所述蒸镀掩膜的磁场，从所述蒸镀掩膜分离所述电磁石及所述被蒸镀基板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680083276.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
