[实用新型]气囊式双面研磨抛光机有效
| 申请号： | 201621036836.8 | 申请日： | 2016-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN206029581U | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 袁保军;贺贤汉;王宇 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;B24B7/22 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人： | 顾雯,张星漪 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种气囊式双面研磨抛光机，包括三个提拉气缸、气囊、上支撑盘、上研磨盘和下研磨盘，其中上支撑盘、气囊、上研磨盘和下研磨盘从上至下依次设置，三个提拉气缸的本体固定在上支撑盘上，提拉气缸的气缸杆固定在上研磨盘上。本实用新型适合蓝宝石磨抛等高压力场合。 | ||
| 搜索关键词： | 气囊 双面 研磨 抛光机 | ||
【主权项】：
一种气囊式双面研磨抛光机，其特征在于，包括：三个提拉气缸、气囊、上支撑盘、上研磨盘和下研磨盘，其中：上支撑盘、气囊、上研磨盘和下研磨盘从上至下依次设置，三个提拉气缸的本体固定在上支撑盘上，提拉气缸的气缸杆固定在上研磨盘上。
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- 一种用于晶片双面磨抛机的承载盘，包括盘体、晶片工位和啮合齿，所述盘体被设置在双面磨抛机的上、下磨盘之间，啮合齿设置在盘体的外缘，待加工晶片分别被固定在盘体上表面和下表面的晶片工位处。本发明还包括一种使用上述承载盘的双面磨抛机，以及一种对晶片进行双面磨抛的方法。该方法包括：将两组待加工的晶片分别固定在承载盘上下表面的晶片工位；启动磨抛机对上下两组晶片的一个表面进行磨抛；当上述磨抛完成后，将上下两组晶片取下并反置固定在晶片工位，对晶片的另一个表面进行磨抛，或者放入另一组晶片进行磨抛。
- 一种研磨用组合式游星轮-201420804088.8
- 周群飞;饶桥兵;熊元华 - 蓝思科技（长沙）有限公司
- 2014-12-17 - 2015-06-17 - B24B37/28
- 一种研磨用组合式游星轮，包括游星轮体，所述游星轮体包括分体式的内腔游轮和齿圈，所述内腔游轮内设有多个放置待研磨产品的型腔，所述内腔游轮可拆卸式的安装在齿圈内并且所述内腔游轮与所述齿圈联动，本实用新型结构简单，操作方便、省力省时、可靠性较高，成本较低，因此实用性较好，易于推广应用，具有较大实用价值。
- 一种新型游星轮-201420720737.6
- 王惠玲 - 西安贝诺茵电子科技有限公司
- 2014-11-27 - 2015-05-20 - B24B37/28
- 本实用新型公开了一种新型游星轮，包括母轮和子轮，母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的若干通孔，沿通孔设置有一组线槽I和一组线槽II，所述线槽I和线槽II的底部为半圆形，上部为矩形，顶部设置有缩口；所述线槽I的宽度为3.7～3.9毫米，深度为1.7～1.9毫米；所述线槽II的宽度为3.7～3.9毫米，深度为1.4～1.6毫米，所述子轮上设有与所述线槽I、线槽II和缩口相配合的凸起。本实用新型通过合理设置两组大小不同的线槽I和线槽II，使得工作时，母轮和子轮之间产生了一定的缓冲带，提高了成品率。
- 一种硬盘基片研磨机的研磨承载装置-201410516900.1
- 陈凌;王琰;任琪;程晓 - 无锡康柏斯机械科技有限公司
- 2014-09-30 - 2015-03-04 - B24B37/28
- 本发明公开了一种硬盘基片研磨机的研磨承载装置，包括硬盘基片承载盘，所述硬盘基片承载盘上均匀设置若干基片孔，所述硬盘基片承载盘为圆形，其外边缘为均匀的锯齿结构，当硬盘基片承载盘放置于研磨盘上，一边与研磨盘的外齿圈啮合、相对的另一边与研磨盘的内齿圈啮合。通过对硬盘基片承载盘进行改进，将硬盘基片承载盘的外边缘设置为均匀的锯齿结构，且与研磨盘的内齿圈、外齿圈均啮合连接，使得硬盘基片承载盘随着内、外齿圈的转动而旋转，增强了研磨的效果，使得研磨更均匀。
- 磨片机游星片的改良构造-201320582446.0
- 苏荣义;李海龙;陈宗永;孙振生;周明月;许建虹 - 天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 2013-09-18 - 2014-03-05 - B24B37/28
- 本实用新型提供了一种磨片机游星片的改良构造，包括内圈、外圈、外圈带动齿，它们组成一个圆形的磨片机游星片；内圈、外圈结合处设有波纹状接合；外圈为钢材质，内圈为树脂材质。本实用新型磨片机游星片的改良构造内的部树脂材质，可以起到减缓加工时的冲击力的作用，保护了工件，降低了硅片边缘崩边、缺口的几率；外圈钢圈部分起到加强机械强度，支撑内部较软材质平面形状的作用；波纹状咬合可以避免其它形状造成的内外圈配合困难、存放复杂、加工时挂带磨盘槽造成整盘工件报废的情况，提高了合格率，而且具有结构简单，加工成本低等优点。
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