[实用新型]螺旋波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种螺旋波等离子体化学气相沉积装置，包括真空放电室、与所述真空放电室相连通的真空沉积室，所述真空放电室外环绕有线圈，所述真空放电室内设置有第一进气管、右旋天线，所述右旋天线外套设有屏蔽筒，所述右旋天线的一端穿过一屏蔽管且与射频电源相连接，所述真空沉积室内设置有基片台、第二进气管，所述真空沉积室通过管路连接有抽气组件。本实用新型结构简单、使用方便，通过在真空放电室内产生螺旋波等离子体，在真空沉积室内成功地得到了纳米晶金刚石薄膜，制得的纳米晶金刚石薄膜纯度高、质量好，工业生产上容易实现，沉积速率快，不存在灯丝性能衰减的问题，而且操作简单、易控制。

主权项

一种螺旋波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：包括真空放电室、与所述真空放电室相连通的真空沉积室，所述真空放电室外环绕有线圈，所述真空放电室内设置有第一进气管、右旋天线，所述右旋天线外套设有屏蔽筒，所述右旋天线的一端穿过一屏蔽管且与射频电源相连接，所述真空沉积室内设置有基片台、第二进气管，所述真空沉积室通过管路连接有抽气组件。