[实用新型]硅片篮的搬运传输机构有效
| 申请号： | 201620068363.3 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN205376484U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;徐伟锋;邱建华;张守勇;周道全 | 申请（专利权）人： | 上海釜川自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 孙民兴;王维新 |
| 地址： | 200070 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种传输机构，特别涉及到用于硅片篮传送的传输机构。包括机械手、机架、传输带，所述的机械手安装于机器设备的主机内，位于两输送机架伸入主机内的设备的上端，机械手用于提入空篮至入片位置和满篮夹持搬运到L形的篮架上，传输带安装于机架上；传输带用于传送硅片篮；所述的传输带是由两排平行的传送链构成；其特征在于：在传输带上起始端安装自动翻转机构；所述的自动翻转机构是由成L形的篮架、翻转电机和转动轴构成的，所述L形的篮架开口朝向设备内，背部朝向传送带，篮架两侧面有较宽的侧栏；L形的篮架背面中间的一根挡片条当翻转放平时，挡条正好位于两输送带中间凹陷处且正好让篮子边框水平落在输送链上。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 搬运 传输 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片篮的搬运传输机构，包括机械手、机架、传输带，所述的机械手安装于机器设备的主机内，位于两输送机架伸入主机内的设备的上端，机械手用于提入空篮至入片位置和满篮夹持搬运到L形的篮架上，传输带安装于机架上；传输带用于传送硅片篮；所述的传输带是由两排平行的传送链构成；其特征在于：在传输带上起始端安装自动翻转机构；所述的自动翻转机构是由成L形的篮架、翻转电机和转动轴构成的，所述L形的篮架开口朝向设备内，背部朝向传送带，篮架两侧面有较宽的侧栏；L形的篮架背面中间的一根挡片条当翻转放平时，挡条正好位于两输送带中间凹陷处且正好让篮子边框水平落在输送链上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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