[实用新型]硅片篮的搬运传输机构

权利要求书

1.一种硅片篮的搬运传输机构，包括机械手、机架、传输带，所述的机械手安装于机器设备的主机内，位于两输送机架伸入主机内的设备的上端，机械手用于提入空篮至入片位置和满篮夹持搬运到L形的篮架上，传输带安装于机架上；传输带用于传送硅片篮；所述的传输带是由两排平行的传送链构成；其特征在于：在传输带上起始端安装自动翻转机构；所述的自动翻转机构是由成L形的篮架、翻转电机和转动轴构成的，所述L形的篮架开口朝向设备内，背部朝向传送带，篮架两侧面有较宽的侧栏；L形的篮架背面中间的一根挡片条当翻转放平时，挡条正好位于两输送带中间凹陷处且正好让篮子边框水平落在输送链上。

2.根据权利要求1所述一种硅片篮的搬运传输机构，其特征在于：所述的L形篮架包括底座、靠背挡条和侧栏构成，所述的底座的周边设有围栏；靠背安装于底座的后侧，靠背为三根，其中左右两根对应于链条的两侧，中间一根对应两链条之间中间凹陷处。

3.根据权利要求2所述的一种硅片篮的搬运传输机构，其特征在于：所述的翻转放平机构是由一个V字型的托架转动装置构成，所述的V字型托架托住底座，在托架的根部安装有转动轴，转动轴由翻转电机带动。

4.根据权利要求1所述的一种硅片篮的搬运传输机构，其特征在于：在传输带的传输过程中还包括一个扶起机构；所述的扶起机构是由背板，支撑座，扶起转动轴，翻转电机和推动部分构成，所述的背板安装于支撑座的后部，推动部分位于支撑座的下部；扶起转动轴设立于支撑座的后根部，由翻转电机带动。

5.根据权利要求4所述的一种硅片篮的搬运传输机构，其特征在于：所述的推动部分是由气缸带动的三根推脚构成，所述的三根推脚均匀的分部在底部下部；扶起机构被立起后，三根推脚在气缸的作用下向前推篮至运输带上，三推脚的高度正好和扶持机构立起后即篮子竖起来篮子底部边框高度相适应。

6.根据权利要求1所述的一种硅片篮的搬运传输机构，其特征在于：所述的传送带是多节可拼接式的传送带，每一条传送带均是由一个支架、独立的主动轮和一个被动轮构成，主动轮和被动轮都安装在机架上；主动轮和被动轮上套有两根齿形链条，两根齿形链条之间的距离窄于硅片篮的宽度；所述的输送机架可与其它设备进行对接。