[发明专利]光刻胶组合物和制造图案化器件的方法有效
| 申请号： | 201611121178.7 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106959586B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 朴珍;金贤友;韩镇圭 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;G03F1/76 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开光刻胶组合物和制造图案化器件的方法。所述光刻胶组合物包括：包括结合有含硅离去基团的重复单元的光刻胶聚合物、包括氟化锍的光致产氟剂、和溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 制造 图案 器件 方法 | ||
【主权项】：
光刻胶组合物，其包括：包括结合有含硅离去基团的重复单元的光刻胶聚合物；包括氟化锍的光致产氟剂；和溶剂。
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