[发明专利]彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物在审
| 申请号： | 201611102748.8 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106980239A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 房淳洪;崔庆默;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 钟晶,陈彦 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其相对于组合物总重量，包含季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％，从而具有优异的剥离力和经时稳定性，所述化学式1中，R1为C1～C6的羟基烷基，所述化学式2中，R2为C1～C8的烷基、苯基、氨基或‑NHNH2。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 抗蚀剂 有机 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种彩色抗蚀剂或有机膜剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含：季铵盐化合物1～15重量％、极性有机溶剂20～70重量％、亚烷基二醇烷基醚1～20重量％、选自下述化学式1～化学式3中的一种以上肼衍生物化合物0.1～5重量％、无机碱或其盐化合物0.01～2重量％、和水1～40重量％，<化学式1>所述化学式1中，R1为C1～C6的羟基烷基，<化学式2>所述化学式2中，R2为C1～C8的烷基、苯基、氨基或‑NHNH2，<化学式3>
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