[发明专利]一种真空蒸镀装置、方法及有机发光显示面板在审
| 申请号： | 201611074944.9 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106521423A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 滨田;牛晶华;何为;阎洪刚;吕磊;王湘成 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/14;C23C14/54;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆,胡彬 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空蒸镀装置、方法及有机发光显示面板，真空蒸镀装置包括至少第一蒸镀腔室；第一蒸镀腔室内具有至少一个第一有机材料蒸发源和至少一个第一金属蒸发源；至少一个第一有机材料蒸发源用以蒸镀第一有机材料；至少一个第一金属蒸发源用以蒸镀第一金属材料；至少一个第一有机材料蒸发源和至少一个第一金属蒸发源可以被控制为同时进行蒸镀，以实现第一有机材料和第一金属材料的共混掺杂。通过本发明的技术方案，可以分别精确控制第一有机材料蒸发源和第一金属蒸发源，实现第一有机材料和第一金属材料的均匀共混掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 装置 方法 有机 发光 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：至少第一蒸镀腔室；所述第一蒸镀腔室内具有至少一个第一有机材料蒸发源和至少一个第一金属蒸发源；所述至少一个第一有机材料蒸发源用以蒸镀第一有机材料；所述至少一个第一金属蒸发源用以蒸镀第一金属材料；所述至少一个第一有机材料蒸发源和所述至少一个第一金属蒸发源可以被控制为同时进行蒸镀，以实现第一有机材料和第一金属材料的共混掺杂。
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