[发明专利]衬底中心检测方法、衬底运送方法、运送单元及包括运送单元的衬底处理装置

摘要

提供衬底中心检测方法、衬底运送方法、衬底运送单元及衬底处理装置。根据实施例，衬底中心检测方法包括：第一位置检测步骤，检测衬底的四个边沿位置；凹槽存在性判断步骤，判断四个边沿位置中是否存在凹槽；衬底移动步骤，当四个边沿位置中存在凹槽时移动衬底；中心计算步骤，计算衬底中心，中心计算步骤包括：第二检测步骤，重新检测衬底的四个边沿位置；第一中点计算步骤，使用第一位置检测步骤中检测的衬底的四个边沿位置中的三个边沿位置计算衬底的第一中点；第二中点计算步骤，使用第二位置检测步骤中检测的衬底的四个边沿位置中的三个边沿位置计算衬底的第二中点；第一确定步骤，基于衬底的第一和第二中点的移动状态确定衬底的真实中点。

主权项

1.一种用于检测衬底中心的方法，包括：第一位置检测步骤，检测衬底的四个边沿位置；凹槽存在性判断步骤，判断在所检测的四个边沿位置当中是否存在凹槽；衬底移动步骤，当在所检测的四个边沿位置当中存在凹槽时移动所述衬底；中心计算步骤，计算所述衬底的中心；其中，所述中心计算步骤包括：第二位置检测步骤，重新检测所述衬底的四个边沿位置；第一中点计算步骤，使用在所述第一位置检测步骤中所检测的所述衬底的四个边沿位置中的三个边沿位置计算所述衬底的第一中点；第二中点计算步骤，使用在所述第二位置检测步骤中所检测的所述衬底的四个边沿位置中的三个边沿位置计算所述衬底的第二中点；第一确定步骤，基于所述衬底的所述第一中点和所述衬底的所述第二中点的移动状态确定所述衬底的真实中点。