[发明专利]提高镀膜靶材利用率的方法有效
| 申请号： | 201610619556.8 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106244990B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;庄炳河;张永胜;满小花;曹志刚;吴远法;张雨龙 | 申请（专利权）人： | 爱发科豪威光电薄膜科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高镀膜靶材利用率的方法，包括：在靶材宽度方向上确定位于靶材上的控制节点，所述控制节点包括相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置的第一内控制节点和第二内控制节点以及相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置的第一外控制节点和第二外控制节点；控制磁条在靶材上方按照从第一内控制节点出发、依次以第二外控制节点、第一外控制节点、第二内控制节点为控制节点实现磁条的反向移动，并最终回到第一内控制节点的移动时序路径进行周期性摇摆变速移动。本发明通过选定磁条移动时的各控制节点位置，并合理地设计磁条周期性摇摆变速移动时序，从而可使得靶材各处的蚀刻深度相对均匀，延长靶材使用寿命，有效提升了靶材整体利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 镀膜 利用率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，包括：在靶材宽度方向上确定位于靶材上的控制节点，所述控制节点包括相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置的第一内控制节点和第二内控制节点以及相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置且分别位于第一内控制节点和第二内控制节点的外侧的第一外控制节点和第二外控制节点；控制磁条在靶材上方从第一内控制节点出发在靶材宽度方向上进行周期性摇摆变速移动，在一个周期内，依次在第二外控制节点、第一外控制节点和第二内控制节点进行反向并最终返回第一内控制节点。
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