[发明专利]在MEMS组件的层结构中制造麦克风和压力传感器结构的方法

摘要

本发明提出一种用于MEMS组件的制造方法，通过所述方法，在MEMS层结构中，不仅实现了具有麦克风电容器的麦克风结构，还实现了具有测量电容器的压力传感器结构。在此，在所述MEMS层结构的层中并行地、但彼此独立地构造麦克风结构和压力传感器结构的各个部件。根据本发明，由第一层结构化出压力传感器膜片，所述第一层充当麦克风膜片的管座层。由导电的第二层结构化出测量电容器的固定的对应电极，所述第二层充当麦克风结构的膜片层。由第三和第四层结构化出所述固定的压力传感器对应元件。所述第三层在麦克风结构区域内充当牺牲层，其在麦克风结构区域内的厚度确定麦克风电容器的电极间距。由所述第四层结构化出麦克风对应元件。

主权项

一种用于在MEMS组件的层结构中制造至少一个麦克风结构(10)和至少一个压力传感器结构(20)的方法，其中，所述麦克风结构(10)包括对声压敏感的麦克风膜片(11)和固定的、声音可通过的麦克风对应元件(13)，它们分别设有麦克风电容器的至少一个电极，其中，所述压力传感器结构(20)包括对压力敏感的压力传感器膜片(21)和固定的压力传感器对应元件(22)，它们分别设有测量电容器的至少一个电极；在所述方法中，在所述层结构中彼此并排地构造所述麦克风结构(10)和所述压力传感器结构(20)；以及在所述方法中，在组件背面中分别产生用于所述麦克风膜片(11)的和用于所述压力传感器膜片(21)的至少一个连接开口(15，25)，其特征在于，由第一层(3)结构化出所述压力传感器膜片(21)，所述第一层充当用于所述麦克风膜片(11)的管座层；由导电的第二层(5)结构化出所述测量电容器的固定的对应电极(23)，所述第二层充当所述麦克风结构(10)的膜片层；由第三层和第四层(6，7)结构化出所述固定的压力传感器对应元件(22)，其中，所述第三层(6)在所述麦克风结构(10)的区域内充当牺牲层，其在所述麦克风结构(10)区域内的厚度确定所述麦克风电容器的电极间距，其中，由所述第四层(7)结构化出所述麦克风对应元件(13)。