[发明专利]一种有机材料蒸镀设备和方法有效
| 申请号： | 201610480217.6 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105908129B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 胡海兵 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的实施例提供一种有机材料蒸镀设备和方法，涉及有机显示器制造技术领域，用于避免OLED制造过程中有机电致发光层厚度不均匀的问题，该设备包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；加热装置用于产生热能；蒸发装置用于通过加热装置产生的热能蒸发有机材料使有机材料在基板上形成有机材料膜层；测量装置用于实时监测有机材料膜层的厚度；反射片设置于有机材料膜层厚度较小的位置与加热装置和/或蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。本发明实施例用于显示设备的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 材料 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；所述加热装置用于产生热能；所述蒸发装置用于通过所述加热装置产生的热能蒸发有机材料使所述有机材料在基板上形成有机材料膜层；所述测量装置用于实时监测所述有机材料膜层的厚度；所述反射片设置于所述有机材料膜层厚度较小的位置与所述加热装置和/或所述蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射；所述有机材料膜层厚度较小的位置实时变化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610480217.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带微型风扇的防雾霾口罩
- 下一篇：口罩
- 同类专利
- 专利分类
