[发明专利]用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配

摘要

本发明涉及用于电感耦合等离子体系统的混合阻抗匹配。在一方面，一种系统包括被配置为产生并调谐供给信号的频率的发生器。该系统还包括自动匹配网络，该自动匹配网络被配置成接收该供给信号并产生用于给等离子体系统提供功率的阻抗匹配信号。在一些实施方式中，在阻抗匹配操作的第一阶段的过程中，该发生器被配置为调谐该供给信号的频率，直到该发生器确认使该发生器的电抗和该发生器上的负载的电抗最佳匹配的频率。在一些实施方式中，在该阻抗匹配操作的第二阶段的过程中，该自动匹配网络被配置为调谐该自动匹配网络内的调谐元件直到该自动匹配网络确认该调谐元件的使该发生器的电阻和该发生器上的负载的电阻最佳匹配的调谐。

主权项

1.一种阻抗匹配系统，其包括：等离子体系统，其包括反应室和在该反应室周围的电感线圈，所述反应室内容纳有半导体衬底支撑基座；发生器，其被配置成产生供给信号以供应功率给所述电感线圈，以用于等离子体促进的工艺；以及自动匹配网络，其被配置成接收所述供给信号并向所述等离子体系统的所述电感线圈提供所述供给信号；所述发生器还被配置成检测来自所述等离子体系统的反射功率信号，并且将所述供给信号的频率调谐到使所述反射功率信号为最小的调谐频率；以及所述自动匹配网络的阻抗调谐性能被配置成与所述发生器的频率调谐操作同步并且所述自动匹配网络还被配置成在所述发生器将所述供给信号的频率调谐到所述调谐频率后检测在所述调谐频率的所述供给信号的相位和幅值，检测来自所述等离子体系统的反射功率信号的相位和幅值，并且将所述自动匹配网络的阻抗调谐到使所述供给信号和所述反射功率信号的各自的所检测的相位和幅值之间的相位和幅值误差校正信号为零或低于确定的阈值的阻抗。