[发明专利]减压干燥装置和基板处理系统在审
| 申请号： | 201610090240.4 | 申请日： | 2016-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN105928324A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 伊藤祯彦;池森一博 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种减压干燥装置和基板处理系统。在具有多级腔室式减压干燥装置的片状基板用干燥装置中，利用单一的真空泵应对所有腔室的减压动作。减压干燥装置具有：多个减压用腔室；单一的真空泵，该真空泵的进气口经由配管与各腔室连接；阀，其控制各腔室的排气和减压状态，且与所述各腔室对应地分别设置于所述配管；以及控制装置，其根据预先设定的减压序列控制各阀。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种减压干燥装置，利用搬送装置将涂布了涂布液的片状基板搬入腔室内并根据预先设定的减压序列对所述腔室内进行减压从而对涂布于所述基板的所述涂布液进行干燥，其特征在于，该减压干燥装置具有：多个减压用腔室；单一的减压用泵，其经由配管与设置于所述各腔室的进气口连接；阀，其设置于各个所述配管，通过使所述减压用泵进行动作而对各腔室的减压状态进行控制；以及控制装置，其根据对所述各腔室设定的减压序列对所述阀进行单独控制。
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