[发明专利]一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法

摘要

本发明涉及基于小分子的有机非易失性场效应晶体管存储器件领域。公开了一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法。所述存储器从上至下依次结构包括源漏电极、半导体层、隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层，栅绝缘层，其中隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层共同组合成了电荷捕获层。本发明所述晶体管存储器采用溶液加工法制备，操作简便，成本低廉，节约能源，有利于大规模批量化生产电荷捕获层为一层平滑的小分子螺环材料和高介电常数聚合物的复合纳米薄膜该存储器实现了高密度、稳定的非易失性存储性能，且保持较高迁移率和开关比(104)，且操作工艺简单，成本较低，便于存储器件的推广、生产。

主权项

1.一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器，其从上至下依次包括源漏电极、半导体层、隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层，栅绝缘层，其中隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层共同组合成了电荷捕获层，其特征在于：电荷捕获层为一层平滑的小分子螺环和高介电常数聚合物的复合纳米薄膜；所述存储器的下部还包括衬底和形成于衬底之上的栅电极，为底栅顶接触型场效应晶体管结构；所述复合纳米薄膜中的小分子螺环材料为螺[芴‑9,7‑二苯并[c,h]吖啶‑5‑酮](SFDBAO)，其通过绿色日光氧化反应制备；所述高介电常数聚合物为聚苯乙烯(PS)。