[发明专利]硬质被膜和硬质被膜被覆构件有效

专利信息
申请号: 201580082833.X 申请日: 2015-09-04
公开(公告)号: CN108138306B 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 樱井正俊;王媺 申请(专利权)人: OSG株式会社
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;B23B27/14;B23B51/00;B23C5/16
代理公司: 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 刘强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在工具母材(30)的表面所被覆的硬质被膜(24)采用物理蒸镀法将A层(34)与使B层(36)和C层(38)以纳米级的厚度交替层叠而成的纳米层交替层(40)交替地层叠、以成为0.5~20μm的总膜厚的方式构成,A层(34)为组成式由[Al
搜索关键词: 原子比 硬质被膜 氮化物 组成式 交替层 纳米层 被覆构件 工具母材 交替层叠 交替地层 物理蒸镀 纳米级 总膜厚
【主权项】:
1.硬质被膜(24),是在母材(30)的表面所被覆的硬质被膜(24),其特征在于,上述硬质被膜(24)采用物理蒸镀法将A层(34)与使B层(36)和C层(38)交替地层叠而成的纳米层交替层(40)交替地层叠、以成为0.5~20μm的总膜厚的方式构成;上述A层(34)为组成式由[Al
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