[发明专利]滤波器芯片及制造滤波器芯片的方法有效
| 申请号： | 201580052140.6 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106817917B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·迈克尔·耶格;维尔纳·吕勒 | 申请（专利权）人： | 追踪有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/205;H03H9/58;H03H9/60;H03H9/05;H03H9/70 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种滤波器芯片(1)，其包括至少一个通过体声波工作的第一谐振器(2)与通过体声波工作的第二谐振器(3)的电路系统，其中，所述通过体声波工作的第一谐振器(2)包括第一压电层(4)，其如此被结构化，使得所述第一谐振器(2)具有低于所述第二谐振器(3)的谐振频率。所述通过体声波工作的第二谐振器(3)的第一压电层(4)和/或第二压电层(7)能够如此被结构化，使得凹穴(14)在竖向上延伸穿过所述第一和/或第二压电层。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种滤波器芯片(1)，包括至少一个通过体声波工作的第一和第二谐振器(2、3)的电路系统，其中，所述通过体声波工作的第一谐振器(2)包括第一压电层(4)，其如此被结构化，使得所述第一谐振器(2)具有低于所述第二谐振器(3)的谐振频率。
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