[发明专利]基于氧化石墨烯海绵的柔性压力传感器有效
| 申请号： | 201510439412.X | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105067160B | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 孙立涛;万树;毕恒昌;周奕龙;尹奎波;贺龙兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于氧化石墨烯海绵的柔性压力传感器及其制备方法，其包括柔性基底、石墨烯电极、氧化石墨烯海绵介电层，所述石墨烯电极通过喷涂的方式沉积在所述柔性基底的外侧面，通过掩膜形成长条状电极阵列；所述柔性基底为两片，所述氧化石墨烯海绵介电层设置在两片柔性基底的内侧面之间。本发明的基于氧化石墨烯海绵的柔性压力传感器具有可弯曲，灵敏度高，响应时间快，空间分辨能力高，稳定性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化 石墨 海绵 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于氧化石墨烯海绵的柔性压力传感器，其特征在于：包括柔性基底、石墨烯电极、氧化石墨烯海绵介电层，所述石墨烯电极通过喷涂的方式沉积在所述柔性基底的外侧面，通过掩膜形成长条状电极阵列；所述柔性基底为两片，所述氧化石墨烯海绵介电层设置在两片柔性基底的内侧面之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510439412.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 柔性电介质体、柔性压力传感器及其各自的制备方法-201910648852.4
- 冯雪;杜琦峰;陈颖 - 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
- 2019-07-18 - 2019-11-12 - G01L1/14
- 本申请涉及一种柔性电介质体，所述柔性电介质体的一侧表面具有微结构图案，所述柔性电介质体的内部具有微孔结构。将所述柔性电介质体作为柔性压力传感器的介电层使用时，在受力过程中，柔性电介质体表面的微结构图案先发生变形，提高柔性压力传感器的灵敏度，随着压力增大，柔性电介质体内部的微孔结构发生变形，增大柔性压力传感器的压力测试范围。
- 一种基于经编间隔织物的电容式压力传感器-201910721023.4
- 缪旭红;蒋高明;韩晓雪;万爱兰;马丕波 - 江南大学
- 2019-08-06 - 2019-11-12 - G01L1/14
- 本发明公开了一种基于经编间隔织物的电容式压力传感器，包括介质层和与介质层相连的电极板，所述介质层为经编间隔织物，所述电极板为导电织物，所述经编间隔织物的两侧均设置有导电织物，所述导电织物处连接有导线引脚。本发明结合了经编间隔织物抗压缩性良好、透气透湿性优良等优点，提供一种可集成到日用纺织品中的柔性传感器，可以检测压力变化，具有便携性好、灵敏度高、环保舒适等特点。
- 一种双电层电容式柔性触觉传感器-201920641899.3
- 刘吉晓;郭士杰;王曼菲;王鹏;侯福宁;孟垂舟 - 河北工业大学
- 2019-05-07 - 2019-11-12 - G01L1/14
- 本实用新型为一种双电层电容式柔性触觉传感器，该传感器为阵列式传感器，包括上电极层、下电极层及设置在上下电极层之间的离子纤维层，所述离子纤维层为离子凝胶包覆的微纤维膜，离子纤维层的上下表面分别紧贴上电极层的下表面、下电极层的上表面。该传感器采用阵列双电层原理，在保证柔性的同时可实现电容单元的高密度阵列，进而获得更高的分辨率与信噪比。
- 压力传感器及其制备方法-201610443905.5
- 刘孟彬;毛剑宏 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
- 2016-06-20 - 2019-10-25 - G01L1/14
- 本发明的压力传感器及其制备方法，包括：提供半导体衬底，在半导体衬底的正面形成第一沟槽及第二沟槽，第二沟槽和第一沟槽的交界位置形成台阶；在第二沟槽中形成第一感应层，在第一沟槽中形成第二感应层，第二沟槽的部分底壁与第一感应层之间形成第一空腔，第一空腔上的第一感应层中具有第一开口阵列，第二感应层与第一感应层之间形成第二空腔，半导体衬底的背面具有与第一空腔连通的第三开口；形成第三感应层，第三感应层与第二感应层之间形成第三空腔，第三空腔上的第三感应层中具有第二开口阵列；介质层覆盖第三感应层及剩余的半导体衬底正面；第一电极与第一感应层电性连接，第二电极与第二感应层电性连接，第三电极与第三感应层电性连接。
- 一种基于超材料结构的压力传感器-201710900789.X
- 韩磊 - 东南大学
- 2017-09-28 - 2019-10-18 - G01L1/14
- 本发明公开了一种基于超材料结构的压力传感器，该压力传感器包括基板、输入微带信号线一、输入微带信号线二、金属‑绝缘层‑金属（MIM）电容的下极板、金属‑绝缘层‑金属（MIM）电容的绝缘层、金属‑绝缘层‑金属（MIM）电容的上极板、开路短截线电感、微带信号线三、微波功率合成器的输入端、微波功率合成器的输出端、微波功率合成器的隔离电阻连接用微带信号线、微波功率合成器的隔离电阻、微带线地线、压力感应腔体；该压力传感器采用金属‑绝缘层‑金属（MIM）电容感应压力的变化，并通过微波功率合成器合成的微波功率变化实现压力测量，具有灵敏度高、体积小、测量范围大、测量误差小的优势。
- 电容式触觉传感器-201910646820.0
- 赛德;陈炜;陈泓瑜 - 复旦大学
- 2019-07-17 - 2019-10-15 - G01L1/14
- 本发明属于传感器技术领域，具体为电容式触觉传感器。本发明包括单细胞电容式触觉传感器单元和采集单元，这两个部件相互配对，用于测量实验室设备和日常物品中使用的压力；其中，触觉传感器单元由两个电容元件和一层分割层组成；采集单元包括信号发生器、前置放大器、预屏蔽信号的过滤器、最终放大器、电压电平转换器；信号发生器包括一个振荡器模块；单细胞电容式触觉传感器输出进入前置放大器；输入参考信号由信号发生器中振荡器模块传送，然后通过转换器直接进行信号转换；通过序列滤波后的信号通过最终放大器放大，获得更稳定的适当幅度水平；最后信号由电压电平转换器转换和控制后输出。本发明能够广泛用于在人体活动监测领域中。
- 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人-201810093888.6
- 孙滕谌;张大华;庄玮 - 北京他山科技有限公司
- 2018-01-31 - 2019-10-11 - G01L1/14
- 本发明涉及一种具有分时、分区域屏蔽功能的传感器和机器人，包括多个传感器单元，每个单元包括4个多功能层包含的区域，多功能层内部包4个平行板电容；多功能层通过模拟开关分时切换及总线控制实现分区域屏蔽功能。其有益效果：在进行分区域扫描时：将扫描传感器单元执行操作，以使由多功能层构成的类平面电容在实现接触觉时既不受多功能层外部串扰，也不受其内部平行板电容的串扰，还能使处于屏蔽状态下的多功能层内部的平行板电容能测量三维力的变化；将屏蔽传感器单元的多功能层同时接地，或同时接其内部平行板电容公共电极的激励信号，将内部平行板电容的公共电极接对应公共电极激励信号，使处于屏蔽状态的传感器单元能测三维力变化。
- 一种高灵敏宽量程电容式力传感器及其制备方法-201910701969.4
- 王庆贺;何威 - 中国电子科技集团公司第五十八研究所
- 2019-07-31 - 2019-10-08 - G01L1/14
- 本发明公开一种高灵敏宽量程电容式力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述高灵敏宽量程电容式力传感器包括相键合的硅衬底和玻璃衬板，所述硅衬底的第一端通过介质连接有上层硅薄膜；所述上层硅薄膜的表面依次形成有第一硼硅膜和第一膜上电极；所述硅衬底的第二端形成有下层硅悬臂梁，所述硅衬底的第二端和所述下层硅悬臂梁的上表面覆盖有第二硼硅膜；所述第二硼硅膜的表面依次形成有第二硼硅膜和第二膜上电极；所述高灵敏宽量程电容式力传感器还包括衬底电极，位于所述玻璃衬板的顶表面。
- 一种基于接触面积的线性响应电容型压力传感器-201910699865.4
- 程文;潘力佳;施毅 - 南京戎智信息创新研究院有限公司
- 2019-07-31 - 2019-09-27 - G01L1/14
- 一种压力感测装置，包括微结构材料、附着于所述结构表面的电极、介质或导电材料；附着于所述介质或导电材料一面的电极以及支撑材料；所述附着于所述结构表面的电极接触所述介质或导电材料之一的非电极面的表面产生相应接触面积；所述结构、所述附着于所述结构表面的电极、所述介质或导电材料、所述附着于所述介质或导电材料一面的电极，以及所述支撑材料一起配置和布置以通过以下步骤提供对压力的线性电指示；响应于所述结构的弹性压缩或膨胀而影响所述相应的接触面积的变化，以及基于所述相应的接触面积的变化提供所述附着于所述结构表面的电极与所述附着于所述介质或导电材料一面的电极之间的电容值的变化。
- 一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法-201710630405.7
- 秦明;王振军;龙克文;何华娟 - 佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学
- 2017-07-28 - 2019-09-20 - G01L1/14
- 本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底上设有小浅槽与大浅槽，小浅槽通过细槽连通于大浅槽，大浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板，小浅槽通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了低压段与高压段的高精度测量，不仅提高了压力测量精度，也提升了传感器的测量范围。
- 一种分层的电容式多维力传感器-201920114626.3
- 蒲明辉;胡世通;陈琳;王奉阳;余蔚;梁旭斌;赵倩倩;潘海鸿 - 广西大学
- 2019-01-23 - 2019-09-20 - G01L1/14
- 本实用新型公开了一种分层的电容式多维力传感器，其由变形层、测量层组成。变形层主要包括变形层外圈、变形层内圈以及蛇形结构变形梁。变形层内圈上设有螺纹孔和通孔，分别用于连接测量层和输入轴。变形层外圈上设有沉头孔，用于外负载的连接。测量层上有传感器动电极部分和测量内圈，传感器动电极部分包括垂直型感应电容器动电极部分和平行板感应电容器动电极部分。本实用新型采用测量层与变形层上下分层分布，测量层和变形层可以使用不同材料，同时使得传感器更容易加工，降低制作成本、提高加工精度，从而可以提高传感器测量精度。
- 一种具有蛇形结构梁的力传感器-201920146705.2
- 蒲明辉;赵倩倩;梁旭斌;余蔚;王奉阳;潘海鸿;胡世通;陈琳 - 广西大学
- 2019-01-23 - 2019-09-20 - G01L1/14
- 本实用新型公开了一种具有蛇形结构梁的力传感器，它主要由变形层外圈、变形层内圈、蛇形结构梁组成；蛇形结构梁呈水平放置，且沿变形层内圈的外缘呈轮辐式分布，其两端分别连接于变形层外圈内缘和内圈外缘。本实用新型采用轮辐式分布的蛇形结构梁，减小变形梁的刚度，在力的传递过程中变形梁的反应更为灵敏，可提高力传感器的灵敏度。
- 一种电感式压力传感器及其制作方法与应用-201910448033.5
- 陈新建;聂宝清;汤昕冉;缪一辉 - 苏州大学
- 2019-05-27 - 2019-09-17 - G01L1/14
- 本发明公开了一种电感式压力传感器及其制作方法与应用，所述电感式压力传感器包括平面电感、铁氧体膜、弹性支柱和柔性覆膜；所述铁氧体膜附着于柔性覆膜上，位于平面电感与柔性覆膜之间；所述弹性支柱支撑于平面电感与柔性覆膜之间，使铁氧体膜与平面电感之间存有气隙。本发明具有灵敏度高，响应时间快，稳定性和重复性好的特点。
- 一种高温法兰螺栓力测量方法及其测量装置-201910504829.8
- 周建行;关凯书;章骁程 - 华东理工大学
- 2019-06-12 - 2019-09-13 - G01L1/14
- 本发明涉及高温法兰螺栓预紧力的长期监测领域，尤其涉及一种可以在高温下长期使用的基于电容来进行螺栓力监测的方法和装置。包括如下步骤：(1)确定电容：
其中，ε是一个常数，S为电容极板之间的正对面积，d为电容极板之间的距离，k则是静电力常量；(2)测定螺栓力：当材料处于线弹性状态时
其中F表示螺栓力，S代表螺栓横截面面积，L代表螺栓原始长度，dL代表螺栓变化的长度；利用测得电容值的变化来反映螺栓的松弛情况，从而获得应变程度，并根据式(2)转化为螺栓力的变化，测得高温法兰螺栓力。
- 一种仿生柔性压力传感器-201910294235.9
- 李衎;章立诚;朱宁宁;刘逸博 - 浙江工业大学
- 2019-04-12 - 2019-08-27 - G01L1/14
- 本发明公开了一种仿生柔性压力传感器，包括相对布置的两电极，所述两电极均包括柔性基底和覆盖在柔性基底上的金属薄膜导电层，所述两电极的两个相对面中的任一表面向外凸起形成花瓣仿生结构，另一表面为平面结构；或包括相对布置的两电极，所述两电极的两个相对面中任一表面向外凸起形成花瓣仿生结构，另一个表面为平面结构，并在另一个表面设置绝缘层。本发明提供的仿生柔性压力传感器具有高灵敏度、高精确度、加工简易和成本低廉的优点。
- 具有印刷线路板的压容式陶瓷压力传感器-201920019023.5
- 徐建福;徐鹏 - 瑞安市福达汽车部件有限公司
- 2019-01-07 - 2019-08-27 - G01L1/14
- 本实用新型涉及具有印刷线路板的压容式陶瓷压力传感器，包括有基座，基座一端连接有动膜片，动膜片一端中部设有动电极，其特征在于：所述基座相对连接动膜片的另一端印刷有厚膜线路板，所述厚膜线路板上开设有至少三个一端与动电极相连通另一端与厚膜线路板外部相连通的连接孔，所述连接孔内设置有导电结构，本实用新型的有益效果为：节省了产品做PCB的成本，减少了PCB自身的介电常数对产品性能的影响，由于产品线路和压力传感器做在同一载体上，减少了产品的温度漂移系数，减少了生产工艺复杂程度，提高了产品一致性，延长了产品使用寿命。
- 一种多功能传感的柔性传感器及其制备方法-201910453246.7
- 吴豪;张成;李洋洋 - 华中科技大学
- 2019-05-28 - 2019-08-16 - G01L1/14
- 本发明属于柔性传感器领域，并公开了一种多功能传感的柔性传感器及其制备方法，该传感器包括上电极层、中间介质层和下电极层，上和下电极层结构相同，均包括柔性基体材料和镶嵌在基体材料中的液态金属；中间介质层介于上和下电极层之间，其中设置有多个微米级的孔；当传感器受到压力、拉力或被导体靠近时，通过测量传感器电容的变化获得该传感器受到的压力、拉力或导体与传感器之间的距离的大小；当待测对象与上电极层摩擦发生时，通过测量上电极层中电压的变化获得待测对象对上层电极施加的压力大小。本发明还公开了该传感器的制备方法。通过本发明，结合电容传感和摩擦发电两种传感原理，实现柔性传感器的高灵敏度和多功能测量。
- 一种自修复柔性压力传感器及其制作方法-201810118405.3
- 张国平;刘锋;孙蓉 - 中国科学院深圳先进技术研究院
- 2018-02-06 - 2019-08-13 - G01L1/14
- 本发明实施例提供一种自修复柔性压力传感器及其制作方法，涉及传感器技术领域。其中，压力传感器包括：第一电极、第二电极和介电层薄膜，第一电极和第二电极的导电面分别与介电层薄膜的两面紧贴，其中，第一电极和第二电极为包含银纳米线层或金层的自修复聚氨酯薄膜，介电层薄膜为包含石墨烯的自修复聚氨酯薄膜。利用石墨烯制备得到的介电层薄膜可以大幅提高介电常数，进而提高了压力传感器的灵敏度，且由于第一电极具有波浪状微结构可以进一步提高传感器的灵敏度。此外，利用自修复聚氨酯作为柔性基底，使该柔性压力传感器不仅具有良好的力学强度和良好的生物相容性，还具有自修复性能，当传感器受到物理破坏后可重新修复，从而延长使用寿命。
- 一种压力传感阵列-201821828585.6
- 刘禹;徐嘉文;唐彬;任俊;陈彦秋;杨杰;商二威;陈景华;姜晶 - 江南大学
- 2018-11-07 - 2019-08-09 - G01L1/14
- 本实用新型涉及柔性电子技术领域，具体公开了一种压力传感阵列，其中，所述压力传感阵列包括：两层电缆线结构，每层电缆线结构均包括多根平行设置的弹性电缆线，一层电缆线结构横向排列，另一侧电缆线结构纵向排列，两层电缆线结构的每两根弹性电缆线接触位置形成具有位置信息的传感节点，每根所述弹性电缆线均包括壳体和位于壳体内的导线层，所述导线层形成电容电极，两层电缆线结构的壳体与空气夹层形成电容介电层。本实用新型提供的压力传感阵列形成的电子产品满足柔性化需求，具有弹性形变的能力，且由于不同于现有的电缆线结构，解决了现有技术中的工艺复杂成本高的问题，具有结构简单节省人力以及时间等成本的优势。
- 一种可拉伸触觉传感器阵列及其制备方法-201910441039.X
- 张旻;李鑫 - 清华大学深圳研究生院
- 2019-05-24 - 2019-08-06 - G01L1/14
- 一种可拉伸触觉传感器阵列及其制备方法，该传感器阵列包括三大层结构，第一大层结构包括柔性可拉伸基底、形成在柔性可拉伸基底上的可拉伸敏感元件阵列和与可拉伸敏感元件阵列相对应连接设置的第一可拉伸电极阵列，第二大层结构包括键合在第一大层结构上的第二柔性可拉伸介电层和形成在第二柔性可拉伸介电层上的第二可拉伸电极阵列，第三大层结构包括键合在第二大层结构上的第三柔性可拉伸介电层、形成在第三柔性可拉伸介电层上的第三可拉伸电极阵列和覆盖第三可拉伸电极阵列的封装层。该传感器阵列能够在拉伸应变的条件下测量法向压力的大小，该器件的结构紧凑，厚度小，制作工艺简单。
- 一种陶瓷电容压力传感器的封装结构-201821915651.3
- 林长亮 - 天津市天朗电子有限公司
- 2018-11-21 - 2019-08-06 - G01L1/14
- 本实用新型公开了一种陶瓷电容压力传感器的封装结构，包括压力传感器本体，所述压力传感器本体的顶部两侧对称固定有定位脚柱，所述密封顶盖的底部位于立柱的两侧对称固定有固定片，所述空气弹簧的外侧套设有塑料弹簧，其中，空气弹簧的一端与密封顶盖固定，另一端与电气元件区接触。本实用新型中，首先，该陶瓷电容压力传感器由压力传感器本体和密封顶盖组成，而在压力传感器本体的内部设置的电气元件区内设置了内部保护的密封圈，而且在电气元件区和密封顶盖之间设置了塑料弹簧，这样便可在保证电气元件区内的元件处于密封隔水的状态下，还能具备一定的缓冲减震性，以防止其在使用的时候由于不慎被摔坏。
- 地应力探测仪-201920120839.7
- 王文祥 - 廊坊市安次区龙港科技开发公司
- 2019-01-23 - 2019-08-06 - G01L1/14
- 本实用新型公开了一种地应力探测仪，包括箱体和探测机构，探测机构包括操作板、控制器主板和信号采集板，操作板上设置有电源插口和电源开关，电源依次经电源插口、电源开关、控制器主板与信号采集板相连，信号采集板为用于采集天然电磁波的平板式电容传感器，信号采集板包括垂直粘接的两块覆铜板，两块覆铜板外半包覆有屏蔽板，覆铜板外表面涂覆有绝缘漆，覆铜板为长为255mm、宽为130mm、厚为1.5mm的长板。本实用新型采用上述结构的地应力探测仪，通过采用平板式电容传感器可采集属于超低频段的天然电磁波，穿透力强，从而实现地应力的深部探测，且通过无源探测，避免了工作环境对探测结果精准度的影响。
- 陶瓷压力传感器及其生产方法-201510768364.9
- 英·图安·塔姆 - 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
- 2015-10-12 - 2019-07-30 - G01L1/14
- 陶瓷压力传感器及其生产方法。描述一种陶瓷压力传感器，其使用可替选的生产方法生产，并且具有陶瓷基体(1a、1b、1c)、布置在基体(1a、1b、1c)上并且被加载待测量的压力(p)的陶瓷测量膜(5a、5b)和在测量膜(5a、5b)下面封闭在基体(1a、1b、1c)中的压力测量室(3)，以及描述一种生产该压力传感器的方法，借助该方法，特别可以在具有最小细孔的情况下生产测量膜(5a、5b)和/或基体(1a、1b、1c)的更复杂的形状，其中基体(1a、1b、1c)和/或测量膜(5a、5b)具有用3‑D打印方法彼此施加并且通过纳米粉末层的选择性激光熔化生成的层。
- 一种基于金字塔结构的全柔性电容式滑触觉传感器-201710170984.1
- 黄英;孙志广;毛磊东;伍璨;郭小辉 - 合肥工业大学
- 2017-03-21 - 2019-07-19 - G01L1/14
- 本发明公开了一种基于金字塔结构的全柔性电容式滑触觉传感器，是在上、下两柔性印刷电路板上分别印刷有上层公共电极、下层中心电极和位于下层中心电极各边外围的四个矩形感应电极，其中上层公共电极层与下层中心电极用于感知触觉信息、上层公共电极与4个感应电极用于感知切向信息和滑觉信息；在两柔性印刷电路板之间设置有介质层，该介质层的上表面一体化成型有金字塔结构；在上柔性印刷电路板上固定有PDMS半球形触头。本发明的全柔性电容式滑触觉传感器，既能分辨较小的触觉力，同时又能实现对各个方向剪切力的测量，大大提高了传感器的机械灵敏度，实现了传感器在剪切方向的滑觉检测功能。
- 一种双膜电容式压力传感器及制作方法-201710632103.3
- 秦明;王振军;龙克文;何华娟 - 佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学
- 2017-07-28 - 2019-07-19 - G01L1/14
- 本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底中心位置上设有浅槽，浅槽中心位置设有浅槽通孔，浅槽通孔从浅槽底面延至玻璃衬底底面，浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板，浅槽通孔(71)与可测量低压差的电容C1对应设置，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了微压段和高压段的高精度测量，不仅提高了压力测量精度，也提升了传感器的测量范围。
- 一种联动膜电容式压力敏感芯片-201821475330.6
- 揣荣岩;张冰;杨宇新;李新;张贺 - 沈阳工业大学
- 2018-09-10 - 2019-07-19 - G01L1/14
- 一种联动膜电容式压力敏感芯片，该芯片包括衬底硅片（1）、上极板（2）和下极板（3）；衬底硅片（1）的上部开有凹槽，下极板（3）设置在凹槽内，上极板（2）盖在凹槽开口处，使得凹槽形成密封腔体；下极板由淀积在二氧化硅牺牲层上的多晶硅材料制成，其上设置有腐蚀孔，通过其上的腐蚀孔去除牺牲层材料，实现下极板的悬空，其悬空高度由牺牲层厚度来决定。
- 电容传感器-201780074942.6
- 金珉徹 - 罗伯特斯株式会社
- 2017-11-02 - 2019-07-19 - G01L1/14
- 根据本发明的实施例的电容传感器包括：上部块；至少一个第一电极，所述至少一个第一电极固定到上部块；下部块，所述下部块位于上部块的下方；第一支撑柱，所述第一支撑柱用于支撑固定到下部块和上部块的至少一个第二电极，使第二电极的至少一部分与第一电极重叠；第二支撑柱，所述第二支撑柱用于支撑下部块；多个弹性支撑件，所述多个弹性支撑件包括弹性变形部，所述弹性变形部连接到第一支撑柱和第二支撑柱并通过作用于上部块和/或下部块上的外力而弹性变形。
- 用于电容传感器的系统和方法-201610245421.X
- A·韦斯鲍尔;C·埃布纳;C·简克纳;S·梅钦;B·米尔巴彻;G·帕诺夫;E·罗马尼 - 英飞凌科技股份有限公司
- 2016-04-19 - 2019-07-12 - G01L1/14
- 根据一个实施例，一种利用电容传感器执行测量的方法，包括：生成周期性激励信号，所述周期性激励信号包括一系列脉冲；以及平滑所述一系列脉冲的边缘过渡以形成成形的周期性激励信号，其中所述成形的周期性激励信号包括所平滑的边缘过渡之间的平坦区域。该方法进一步包括将所成形的周期性激励信号提供给所述电容传感器的第一端口并且测量通过所述电容传感器的第二端口提供的信号。
- 一种水平微纳力值发生装置-201821823650.6
- 徐立;郑培亮;鲁力维;神伟铭;刘英博;刘易灵光;黄振宇;丘卉;李闯;李倩;杨永灿 - 广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心）
- 2018-11-06 - 2019-07-12 - G01L1/14
- 本实用新型公开了一种水平微纳力值发生装置，包括第一静电微纳力值发生装置、第二静电微纳力值发生装置、支撑结构和微纳力值输出端，所述支撑结构的末端与微纳力值输出端连接，所述第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置分别安装在支撑结构的两侧。本实用新型只需调整第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置所施加的两个力的相对大小，即可通过微纳力值输出端输出标准的水平方向微纳力值，利用了差减法的原理大幅降低了输入电源不稳定性和残余电容对输出的标准微纳力值的影响，精度高；同时能产生水平方向的微纳力值，也满足了人们对水平方向微纳力值的溯源或测量要求，适用性广。本实用新型可广泛应用于计量领域。
- 感测片及静电电容式传感器-201910324515.X
- 则定英树;大高秀夫 - 阪东化学株式会社
- 2014-11-17 - 2019-07-09 - G01L1/14
- 本发明的目的在于提供一种伸缩性电极、感测片、及静电电容式传感器，其柔软性、伸缩性及导电性优异，且可抑制伸长时的电阻增大、或反复伸缩时产生电阻的不均，且本发明的伸缩性电极：包括包含弹性体组成物的基材、以及与所述基材形成一体的电极本体，所述电极本体是使用纤维长度为50μm以上的多层碳纳米管而形成。本发明的伸缩性电极由于包括使用特定的碳纳米管而形成的电极本体，故而具有导电性高，且伸长时的电阻的增大幅度、以及反复伸缩时的电阻的不均极小的优异特性。
- 专利分类
