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[发明专利]一种基于摩擦纳米发电机的密封压力传感器-CN202311075746.4在审
发明人：姚永明;王宽宽;穆正知;韩志武;牛士超;张俊秋;李天宇;刘懿锌;关翔 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-08-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明适用于传感器技术领域，提供了一种基于摩擦纳米发电机的密封压力传感器，包括第一承载法兰和第二承载法兰，还包括：上部盖板，与第一承载法兰固定连接；绝缘膜，粘贴在上部盖板的下表面；铜膜电极，粘贴在绝缘膜的下表面；介电层，粘贴在铜膜电极的下表面；压力敏感球，整体呈立体椭圆状，并固定设置在第一承载法兰的内部，所述压力敏感球的内部为中空状态，压力敏感球的底部设有通孔，形成空腔。本发明通过压力敏感球的上部与介电层之间的接触面积变化产生变化的电压，能够实现检测密封装置内部的压力情况，同时能够对密封装置的泄露情况进行实时监测；降低了成本，具有广泛的应用前景。
一种基于摩擦纳米发电机密封压力传感器

[发明专利]一种T型自供能密封压力传感器-CN202311075670.5在审
发明人：姚永明;王宽宽;穆正知;韩志武;牛士超;张俊秋;李天宇;刘懿锌;关翔 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-08-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明适用于传感器技术领域，提供了一种T型自供能密封压力传感器，包括主体，主体的上部两侧及下部分别设有法兰盘，主体的上部和下部内部均为中空，两侧法兰盘的中心设有通孔，下部法兰盘为密封法兰盘，铜极电极固定设置在密封法兰盘封底的内部；形变硅胶的中心设有沉孔，形变硅胶固定设置在环形挡板的上表面；环形挡板固定设置在形变硅胶和介电层之间；介电层固定设置在环形挡板和铜极电极之间；铜极电极固定设置在主体的底部与介电层之间。本发明能够实现检测密封装置内部的压力情况，同时还可以实现对密封装置的泄露情况进行实时监测；同时成本相对其他检测方式更低，精度也可达到要求，具有广泛的应用前景。
一种自供密封压力传感器

[发明专利]一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法-CN202110499686.3有效
发明人：刘超然;陆稞;董林玺;车录锋;王高峰 -专利权人：昆山朗德森机电科技有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法。一种二维解耦力矩触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；敏感块水平的四个侧面均依次设有角传感基板、弹性梁和支撑侧台，角传感基板的水平上表面设有上电极；玻璃基底内与上电极相应的位置均设有底部电极；上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；支撑侧台与玻璃基底固定连接；敏感块受力矩可使角传感基板发生角度偏移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力矩的检测的灵敏度高。本发明的传感器可通过四个上电极与其对应的底部电极之间形成的四个平行板电容器的电容值的变化量的具体数值及大小关系可以实现传感器对力矩大小的测量和方向的判别。
一种二维力矩触觉传感器 mems 制备方法

[发明专利]抗干扰柔性触觉力感知电容传感器及其制备方法-CN202310531443.2在审
发明人：董昊轩;盛磊;刘贵林;张俊 -专利权人：空间液金技术研究（昆山）有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明涉及柔性压力传感器技术领域，具体提供一种抗干扰柔性触觉力感知电容传感器，结构从上至下依次为上导电屏蔽层、柔性四电极层、泡沫应变层、柔性单电极层、下导电屏蔽层，通过逐层旋涂柔性聚合物溶液粘贴固化为一体；上导电屏蔽层与下导电屏蔽层结构相同；柔性四电极层是在柔性聚合物薄膜表面以丝网印刷方式印有4个方形小电极；泡沫应变层是将柔性聚合物溶液通过真空灌入糖块后去除糖颗粒得到的；柔性单电极层是在柔性聚合物薄膜表面以丝网印刷方式印有1个方形电极。优点在于可有效解耦计算出传感器所受的力的方向和大小，精度高、响应速度快、具有三维触觉力感知，有效克服形变过程中电极与屏蔽层间寄生电容引起的信号不准确的问题。
抗干扰柔性触觉感知电容传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器-CN202310889509.5在审
发明人：方续东;赵永超;吕秩光;卓文强;方子艳;孙昊;张栋;吴晨;田边;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器，属于微纳传感器技术领域，包括基底层、受拉谐振器和受压谐振器，所述基底层包括压力敏感膜与固定在压力敏感膜上的硅岛；所述受拉谐振器布置在压力敏感膜的受拉区域，所述受压谐振器布置在压力敏感膜的受压区域；所述拉谐振器与受压谐振器通过硅岛与压力敏感膜连接；所述受拉谐振器与受压谐振器结构相同。该压力传感器有效提升传感器的灵敏度，并降低了温度和封装应力对谐振器的影响，从而提高传感器的输出精度。
一种基于静电激励电容检测分式谐振压力传感器

[发明专利]集成数字力传感器和相关制造方法-CN202310861847.8在审
发明人： A·富吉;R·戴斯特儿霍斯特;D·本杰明;J·M·蔡;M·杜威可 -专利权人：触控解决方案股份有限公司
申请日： 2018-02-09 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本公开涉及集成数字力传感器和相关制造方法。本文描述了一种加固型晶片级微机电(“MEMS”)力传感器，其包括基部和盖。MEMS力传感器包括柔性膜和感测元件。感测元件电连接到设置在与感测元件相同的衬底上的集成互补金属氧化物半导体(“CMOS”)电路。CMOS电路可被配置成通过电端子将力值放大、数字化、校准、存储和/或传送到外部电路。
集成数字传感器相关制造方法

[发明专利]用于监测水润滑轴承水膜压力的智能传感器及监测方法-CN202310910503.1在审
发明人：李国宾;周云;李庆涛;邢鹏飞;张洪鹏 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于监测水润滑轴承水膜压力的智能传感器及监测方法，其中传感器包括包括上基底、下基底、上电极层、下电极层、背电极层以及弹性元件；上基底和下基底相对设置；上基底上朝向下基底的一侧设有上电极层；下基底上朝向上基底的一侧设有下电极层和背电极层；上基底与下基底之间设有弹性元件；上基底和下基底在外力和弹性元件的弹性力作用下，能够使得上电极层与背电极层接触或分离，并在上电极层和下电极层上产生摩擦电荷。本发明公开的智能传感器由于在水膜压力作用下上电极层和下电极层可接触和分离以产生摩擦电荷，从而可以方便快速的根据传感器的电信号获得水润滑轴承内水膜压力，且具有体积小，自供能，成本低，响应快等优势。
用于监测润滑轴承压力智能传感器方法

[发明专利]负荷传感器-CN202280015411.0在审
发明人：相原唯;浦上进;森浦祐太 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2022-01-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：负荷传感器(1)具备：电极(40)；电介质(50)，配置于电极(40)的表面；和导电弹性体(30)，与电介质(50)对置地配置，具有导电性。在导电弹性体(30)的电介质(50)侧的表面，形成多个突起(31)。电介质(50)的厚度从与导电弹性体(30)的初始接触位置在平面方向减少。
负荷传感器

[发明专利]微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用-CN202210064859.3有效
发明人：颜黄苹;王子俊 -专利权人：厦门大学;厦门大学深圳研究院
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，公开了微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用，微结构电容式柔性压力传感器包括上电极层、微结构介电层和下电极层，微结构介电层的上表面具有偶数的N阶矩阵分布的微结构，灵敏度预测方法通过在微结构介电层划分矩阵分布的大方块和小方块，并通过计算每个小方块的全局分布因素和局部分布因素对每个小方块所受的压强进行等效量化，之后通过每个小方块受到的压强计算整个微结构介电层的形变量，进而通过传感器的电容变化预测传感器的灵敏度，预测方法计算过程简单，准确率高，故有利于提高计算效率，且制备的经过优化后的传感器具有较高的灵敏度。
微结构电容柔性压力传感器灵敏度预测方法应用

[发明专利]一种柔性电容式压力传感器及其制备方法-CN201810859607.3有效
发明人：余辉洋;于许可;李义丰 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性电容式压力传感器，所述柔性电容式压力传感器包括上电极、下电极，夹设于上电极和下电极之间的复合电介质层，其中，复合电介质层包括与所述上电极连接的第一结构层、与所述下电极连接的第二结构层、以及设置在第一结构层和第二结构层之间的可形变层；所述可形变层具有拓扑结构。与现有技术相比，本发明提出了基于3D打印技术的电容式压力传感器结构，精确控制压敏材料中孔的尺寸和分布，从而改善传感器的动态范围和线性度；复合电介质层的可形变结构的设置，还充分利用了介电应变效应的特性，提高了介质材料的介电应变系数，可以进一步提高传感器的灵敏度。
一种柔性电容压力传感器及其制备方法

[实用新型]一种压力传感器及电子设备-CN202320022246.3有效
发明人：史蒂文;李卓;杨国庆 -专利权人：华为技术有限公司;复旦大学
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本申请实施例涉及传感器领域，公开了一种电容式压力传感器和电子设备，用于进行压力的测量，能够提升压力传感器的灵敏度且制造工艺较为简单，易于批量制造。该压力传感器包括两个电极层，第一电介质层和第二电介质层，两个电极层分别设置在第一电介质层的两侧，两个电极层包含导电材料，用于导入和导出电流，第一电介质层包括柔性聚合物、具有柔性外壁的空心小球和导电填充物，空心小球和导电填充物被包裹在柔性聚合物中，部分空心小球在第一电介质层朝向至少一个电极层的表面上凸起，第二电介质层为绝缘材料，设置在至少一个电极层和第二电介质层之间。
一种压力传感器电子设备

[发明专利]负荷传感器-CN202280015031.7在审
发明人：森浦祐太;浦上进;松本玄;松村洋大;古屋博之;相原唯 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2022-02-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：负荷传感器(1)具备：基材(11、21)，被配置为相互面对；导电弹性体(12)，被配置于基材(11)的对置面；线状的导电构件(13a)，被配置于基材(21)与导电弹性体(12)之间；和电介质(13b)，被配置于导电弹性体(12)与导电构件(13a)之间。导电构件(13a)具有在朝向导电弹性体(12)的方向挠曲的挠曲形状。
负荷传感器

[发明专利]柔性传感器和柔性传感器的制备、使用方法-CN201911300627.8有效
发明人：冯雪;张柏诚;刘兰兰;付浩然;蒋晔 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种柔性传感器和柔性传感器的制备、使用方法，柔性传感器包括容纳腔和至少两个电信号测量器件；其中：容纳腔内填充有液态导电介质；至少两个电信号测量器件分别与容纳腔连通，且任意两个电信号测量器件与容纳腔之间的连线具有夹角。利用容纳腔内液态导电介质的流动性，当受到一定方向的外力作用挤压时，不同方向的电信号测量器件中会流入不同量的液态导电介质，进而可以根据液态导电介质的流入量确定柔性传感器的受力方向和受力大小。
柔性传感器制备使用方法

[发明专利]一种微力测量装置和方法-CN202310695194.0在审
发明人：刘泽;刘建鑫;欧阳稳根 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种微力测量装置和方法，该装置包括呈梳状结构的一对第一平行板电容器和两对第二平行板电容器，以及两对力敏感元件、力加载探针、电容测量电路和微力测量单元，其中，第一平行板电容器为变距型电容器，第二平行板电容器为变面积型电容器，电容测量电路对力加载探针受力运动后第一平行板电容器和第二平行板电容器的电容进行测量，并通过微力测量单元根据所测量的电容分别计算得到小量程微力测量下和大量程微力测量下力加载探针的运动位移，并根据运动位移和力敏感元件的弹簧刚度计算得到相应量程微力测量下的微力大小。本发明具有高灵敏度和高服役寿命的特点，能够同时实现高精度和大量程测试以及测力分辨率调节。
一种测量装置方法

[发明专利]一种电容式柔性触觉传感器的多维力解耦方法-CN202310553387.2在审
发明人：朱银龙;公维壮;沈宏骏;习爽;王旭 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容式柔性触觉传感器的多维力解耦方法，通过实验测定柔性触觉传感器的任意力和电容输出之间对应曲线，分析其在各方向的耦合情况，得到其耦合因子矩阵，构建柔性触觉传感器受任意力和电容输出之间的关系表达式，通过梯度下降法求得解耦矩阵，并利用Adam优化算法进行优化，将其应用于一种基于微圆柱形结构的电容式柔性触觉传感器中，从而实现对三维力的准确检测。本发明具有解耦速度快，从实际模型出发解耦精度高等优点。
一种电容柔性触觉传感器多维力解耦方法

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