[实用新型]一种高可靠性的铜柱凸块封装结构有效
申请号: | 201420075612.2 | 申请日: | 2014-02-21 |
公开(公告)号: | CN203721711U | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 徐虹;张黎;陈栋 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 彭英 |
地址: | 214429 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高可靠性的铜柱凸块封装结构,属于半导体封装技术领域。其包括带有芯片电极(120)、表面覆盖钝化层(110)的芯片基体(100),所述钝化层(110)和芯片电极(120)的表面设置介电层(200),所述介电层(200)上设置铜柱凸块(300),所述介电层(200)上开设贯穿介电层(200)的介电层通孔(210),每一所述芯片电极(120)对应若干个介电层通孔(210),所述铜柱凸块(300)的底部向下延伸并通过介电层通孔(210)与芯片电极(120)固连,实现电气连通。本实用新型提供了一种降低局部应力、分散电流分布、提高可靠性的铜柱凸块封装结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 可靠性 铜柱凸块 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种高可靠性的铜柱凸块封装结构,包括带有芯片电极(120)、表面覆盖钝化层(110)的芯片基体(100),所述芯片电极(120)复合于钝化层(110)内、且其表面露出钝化层(110),所述钝化层(110)和芯片电极(120)的表面设置介电层(200),所述介电层(200)上设置铜柱凸块(300),其特征在于:所述介电层(200)上开设贯穿介电层(200)的介电层通孔(210),每一所述芯片电极(120)对应若干个介电层通孔(210),所述铜柱凸块(300)的底部向下延伸并通过介电层通孔(210)与芯片电极(120)固连,实现电气连通。
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