[发明专利]一种喷淋系统及其使用方法在审
| 申请号： | 201410735183.1 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104391433A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 周伟;赵永冬;徐立铭;谢金涛;黄林;姚亮 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷淋系统及其使用方法，该喷淋系统包括：具有多个喷头的多个级联设置的喷淋构件，喷淋液供给系统，喷淋液回收系统，以及控制系统，其中控制系统用于在喷淋系统工作阶段控制喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋，以及在喷淋结束后控制喷淋液回收系统对喷淋液进行回收，还包括：清洗液供给系统，用于在清洗阶段在控制系统的控制下，对各喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；废液处理系统，用于在清洗阶段结束后在控制系统的控制下，对清洗后的废液进行排放，相对于现有的喷淋系统，增加了清洗液供给系统和废液处理系统，这样可以实现对喷淋系统全自动清洗的功能，有效去除管路及喷头内的异物，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种喷淋系统，包括具有多个喷头的多个级联设置的喷淋构件，喷淋液供给系统，喷淋液回收系统，以及控制系统，其中所述控制系统用于在喷淋系统工作阶段控制所述喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋，以及在喷淋系统工作阶段结束后控制所述喷淋液回收系统对喷淋液进行回收，其特征在于，还包括：清洗液供给系统，用于在清洗阶段在所述控制系统的控制下，对各所述喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；废液处理系统，用于在清洗阶段结束后在所述控制系统的控制下，对清洗后的废液进行排放。
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- 本实用新型公开了一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐、过滤装置、控制器；过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔；第一过滤器的进口通过胶管与回收胶瓶相连接，第一过滤器的出口通过第一阀门与第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；第二过滤器的出口通过第三阀门与第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接。本实用新型对回收光刻胶进行过滤处理，以保证过滤后得到的光刻胶干净清洁。
- 感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法及感光化射线性或感放射线性树脂组合物-201580013849.5
- 藤森亨;森弘喜 - 富士胶片株式会社
- 2015-03-13 - 2016-11-09 - G03F7/26
- 本发明的课题在于提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、及由所述制造方法所制造的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法包括使感光化射线性或感放射线性树脂组合物通过过滤器而进行过滤的过滤步骤，所述过滤步骤使感光化射线性或感放射线性树脂组合物通过孔径为10nm以下的第一过滤器5次以上而进行。
- 一种均温的感光材料老化室-201620304586.5
- 张朝阳 - 长葛市汇达感光材料有限公司
- 2016-04-13 - 2016-09-14 - G03F7/26
- 本实用新型涉及感光材料板生产技术领域的设备，名称是一种均温的感光材料老化室，包括保温材料制成的室体，在室体内有加热装置，在所述的室体下面设置底板，底板下面具有空间，底板上具有多个分布均匀的小孔，在所述的室体上面设置顶板,顶板的上面具有空间，顶板具有多个分布均匀的小孔，在室体侧面具有循环管道连通底板的下面和顶板的上面，循环管道中间有风机,所述的加热装置在顶板上面或底板下面的空间内，所述的顶板上面和低板下面具有多个倾斜设置的导流板。这样的感光材料老化室可以保持内部温度均衡、保证产品质量稳定的优点；所述的顶板上面和低板下面具有多个倾斜设置的导流板，具有效果更好的优点。
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