[发明专利]基于直角源场板和直角漏场板的复合场板功率器件有效
| 申请号： | 201410660221.1 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104409494A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 毛维;佘伟波;赵雁鹏;李洋洋;杨翠;张金风;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/40;H01L21/335 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于直角源场板和直角漏场板的复合场板功率器件，其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、栅极(7)、钝化层(8)和保护层(13)。钝化层内刻有源槽(9)与漏槽(10)；钝化层(8)与保护层(13)之间淀积有直角源场板(11)和直角漏场板(12)；直角源场板与源极电气连接，且下端完全填充源槽；直角漏场板与肖特基漏极电气连接，且下端完全填充漏槽；直角源场板靠近栅极一侧边缘与源槽靠近栅极一侧边缘对齐，直角漏场板靠近肖特基漏极一侧边缘与漏槽靠近肖特基漏极一侧边缘对齐。本发明工艺简单、正向特性与反向特性好、成品率高，可作为开关器件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 直角 源场板 漏场板 复合 功率 器件 | ||
【主权项】：
一种基于直角源场板和直角漏场板的复合场板功率器件，自下而上包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、钝化层(8)和保护层(13)，势垒层的上面淀积有源极(4)、肖特基漏极(5)及栅极(7)，势垒层的侧面刻有台面(6)，且台面深度大于势垒层厚度，其特征在于：钝化层(8)内刻有源槽(9)和漏槽(10)；钝化层(8)与保护层(13)之间淀积有直角源场板(11)和直角漏场板(12)；所述直角源场板(11)与源极(4)电气连接，且下端完全填充在源槽(9)内，且直角源场板(11)靠近栅极一侧边缘与源槽靠近栅极一侧边缘对齐；所述直角漏场板(12)与肖特基漏极(5)电气连接，且下端完全填充在漏槽(10)内，且直角漏场板(12)靠近肖特基漏极一侧边缘与漏槽靠近肖特基漏极一侧边缘对齐。
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