[发明专利]LED衬底结构及其制作方法

摘要

本发明提供了一种LED衬底结构及其制作方法，首先，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；其次，由第一反光体环包凸形结构，第二反光体表面和凸形结构顶壁都具有DBR膜系，凸形结构顶壁的DBR膜系设有纳米窗口阵列，从而在提高LED发光效率和发光亮度的同时，能提高LED的轴向发光亮度，且不降低LED的晶体质量；再次，凸形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，且都是在衬底减薄前完成，便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；接着，在做DBR膜系的纳米窗口阵列时，无需对位，直接曝光、显影，避开了微纳图形加工过程中光刻难对位的技术瓶颈。

主权项

一种LED衬底结构，其特征在于，包括：衬底，所述衬底第一表面上形成有周期性阵列排布的凸形结构及反光体，所述反光体包括第一反光体和第二反光体，所述第一反光体环包所述凸形结构，所述第二反光体位于所述第一反光体上方，所述第二反光体形成碗状图形，所述碗状图形位于所述凸形结构的上方，所述第一反光体和第二反光体一体形成，所述第一反光体与凸形结构以及衬底的交界处形成有吸光层，所述凸形结构顶壁及第二反光体表面均形成有DBR膜系，所述凸形结构顶壁的DBR膜系设有纳米窗口阵列，所述纳米窗口阵列露出部分凸形结构。