[发明专利]靶材加工装置以及加工方法有效
| 申请号： | 201410369827.X | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105331937B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;周建军 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,骆苏华 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材加工装置以及加工方法，靶材加工装置包括靶材，靶材包括加工面、背面、定位孔，靶材加工装置包括夹具、压板，压板包括与靶材的背面相配合的第一面，以及与第一面相对的第二面，第二面开设有贯穿压板的固定孔，固定孔与至少一部分定位孔的位置相对应；压板的第二面用于安置固定件，以与靶材相固定。靶材加工方法包括提供装配于夹具中的压板，压板与靶材相配合的面为第一面，与第一面相对的一面为第二面；在压板的第二面开设固定孔，使固定孔的位置与靶材的至少一部分孔的位置相对应；通过固定件将靶材固定装配于压板上；对固定于压板上的靶材进行加工。本发明的有益效果在于，提升的对靶材的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材加工装置，其特征在于，靶材包括一加工面以及相对于加工面的背面，所述靶材背面上开设有若干定位孔，所述靶材加工装置包括：夹具；装夹于夹具内的压板，所述压板包括与靶材的背面相配合的第一面，以及与所述第一面相对的第二面，所述第二面开设有贯穿所述压板的固定孔，所述固定孔与至少一部分所述定位孔的位置相对应；固定件，安置于所述压板的第二面，用于通过所述固定孔和与所述固定孔相对应的定位孔将所述靶材固定于所述压板上。
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