[发明专利]衬底支撑器以及包含所述衬底支撑器的衬底处理设备

摘要

本发明提供一种衬底支撑器以及包含所述衬底支撑器的衬底处理设备。所述衬底处理设备，包含：腔室，设有反应空间且在底部的中央形成有排气开口；衬底支撑器，设置在所述腔室中且支撑衬底；气体注入组件，设置为与所述衬底支撑器相对，注入处理气体且产生其等离子体；以及排气机，连接到所述排气开口且设置在所述腔室下方以将所述腔室的内部排气，其中所述衬底支撑器包括支撑所述衬底的衬底支撑件以及支撑所述衬底支撑件的外部的多个支撑柱，所述支撑柱将所述排气开口安置于其之间。

主权项

一种衬底支撑器，包括：衬底支撑件，支撑衬底；以及多个支撑柱，在所述衬底支撑件下方支撑所述衬底支撑件的边缘，其中所述衬底支撑件包括：第一区域，与所述衬底的后部接触且加热所述衬底同时维持第一温度；以及第二区域，设置在所述第一区域外部且维持比所述第一温度高或低的第二温度。