[发明专利]偏振光分束器、基板处理装置、器件制造系统及器件制造方法在审
| 申请号： | 201380067898.8 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104885012A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;铃木哲男;镰田刚忠;荒井正范;北纮典 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24;G02B5/04;G02B5/08;G02B5/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 分束器 处理 装置 器件 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，具备：光罩保持部件，其保持反射型的光罩；分束器，其将入射的照明光束朝向所述光罩反射，并且使所述照明光束被所述光罩反射而得到的投影光束透射；照明光学组件，其使所述照明光束向所述分束器入射；和投影光学组件，其将透射过了所述分束器的所述投影光束投影至光感应性的基板，将所述照明光束向所述光罩引导的照明光学系统包括所述照明光学组件和所述分束器，将所述投影光束向所述基板引导的投影光学系统包括所述投影光学组件和所述分束器，所述照明光学组件及所述分束器设于所述光罩与所述投影光学组件之间。
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