[发明专利]液体处理装置和液体处理方法

摘要

本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。

主权项

一种液体处理装置，其与对被处理基板供给处理液的多个处理液供给喷嘴中的一个处理液供给喷嘴连接，所述液体处理装置的特征在于，包括：将存储所述处理液的处理液存储容器和所述一个处理液供给喷嘴连接的供给管路；过滤器装置，其设置于所述供给管路，对所述处理液进行过滤，并且将混入所述处理液中的异物除去；在所述过滤器装置的二次侧的所述供给管路设置的泵；将所述泵的排出侧和所述过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在所述泵的二次侧的所述供给管路设置的供给控制阀；在所述循环管路设置的循环控制阀；和控制所述泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，该控制装置按照下述方式进行控制：在通过关闭所述供给控制阀使从所述一个处理液供给喷嘴向所述被处理基板的处理液的供给停止时，打开所述循环控制阀，驱动所述泵，使所述处理液在具有所述过滤器装置的所述供给管路与所述循环管路之间循环。