[实用新型]一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置有效
申请号: | 201320268368.7 | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN203241699U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种液态金属靶产生装置,其能够产生用于等离子激发的金属液滴,该装置包括腔体,该腔体具有一个导管,该导管穿过腔体的上部进入腔体内部,以至于液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部;转轮,呈圆柱体形且能绕其中心轴转动,且该中心轴与该导管垂直,并且,该转轮与导管对准,以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面,并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本实用新型能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径,保证发光稳定性,有效控制发光过程中的系统污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 等离子体 光源 液态 金属 产生 装置 | ||
【主权项】:
一种液态金属靶产生装置,能够产生用于等离子激发的金属液滴,其特征在于,该装置包括: 腔体(18),该腔体(18)具有一个导管(14),该导管穿过腔体(18)的上部进入腔体内部,以至于液态金属靶材料(12)能通过该导管(14)滴入到该腔体(18)的内部; 转轮(7),呈圆柱体形且能绕其中心轴转动,且该中心轴与该导管(14)垂直,并且,该转轮(7)与导管(14)对准,以致从导管(14)中滴下的液态金属靶材料(12)能落到所述转轮(7)的侧面,并通过转动的所述转轮(7)的加速而形成所述金属液滴(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电研究院,未经中国科学院光电研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320268368.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:通用控制面板及机器设备
- 下一篇:照相机安装设备