[实用新型]一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置有效

专利信息
申请号: 201320268368.7 申请日: 2013-05-16
公开(公告)号: CN203241699U 公开(公告)日: 2013-10-16
发明(设计)人: 王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露 申请(专利权)人: 中国科学院光电研究院
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H05G2/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100094*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种液态金属靶产生装置,其能够产生用于等离子激发的金属液滴,该装置包括腔体,该腔体具有一个导管,该导管穿过腔体的上部进入腔体内部,以至于液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部;转轮,呈圆柱体形且能绕其中心轴转动,且该中心轴与该导管垂直,并且,该转轮与导管对准,以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面,并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本实用新型能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径,保证发光稳定性,有效控制发光过程中的系统污染。
搜索关键词: 一种 用于 等离子体 光源 液态 金属 产生 装置
【主权项】:
一种液态金属靶产生装置,能够产生用于等离子激发的金属液滴,其特征在于,该装置包括: 腔体(18),该腔体(18)具有一个导管(14),该导管穿过腔体(18)的上部进入腔体内部,以至于液态金属靶材料(12)能通过该导管(14)滴入到该腔体(18)的内部; 转轮(7),呈圆柱体形且能绕其中心轴转动,且该中心轴与该导管(14)垂直,并且,该转轮(7)与导管(14)对准,以致从导管(14)中滴下的液态金属靶材料(12)能落到所述转轮(7)的侧面,并通过转动的所述转轮(7)的加速而形成所述金属液滴(5)。
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