[发明专利]一种恒流二极管芯片有效
申请号: | 201310346414.5 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN103441146B | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 吴亚红;陆国华;陆炳锜 | 申请(专利权)人: | 如皋市晟太电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/40;H01L29/36 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种恒流二极管芯片,主要部件为一个硅片衬底,所述硅片衬底上隔离出两个独立的MOS集成块,所述MOS集成块内为源、漏极和栅等距分布的阵列且MOS集成块为4个电极,分别为源、漏极和上下两个栅极,所述源、漏区的n+掺杂浓度为0.153×1018/cm3的高浓度施主杂质掺杂,源、漏区通过金属引线与电极连接,所述栅极沟道区域内为0.014×1018/cm3的受主杂质掺杂,栅极扩透隔离区,与硅片衬底连接,且栅氧厚度为上下对称的4‑6nm。本芯片设计时,源、漏之间的间距决定恒流管的低饱和压降,再根据宽输入的要求在扩散的掺杂度等进行最佳参数的控制,以达到低饱和压降且输入电压范围广,电流变化率低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 二极管 芯片 | ||
【主权项】:
一种恒流二极管芯片,主要部件为一个硅片衬底,所述硅片衬底上用隔离带隔离出两个独立的MOS集成块,形成双栅,并接为一体,所述MOS集成块内为源、漏极和栅等距分布的阵列,所述MOS集成块为4个电极,分别为源、漏极和上下两个栅极,双栅器件的上下2个栅极同步工作;其特征在于:所述源、漏区的n+掺杂浓度为0.153×1018/cm3的高浓度施主杂质掺杂,源、漏区通过金属引线与电极连接,所述栅极沟道区域内为0.014×1018/cm3的受主杂质掺杂,栅极扩透隔离区,与硅片衬底连接,且栅氧厚度为上下对称的4‑6nm。
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