[发明专利]芯片封装工艺及芯片封装在审
申请号: | 201310335386.7 | 申请日: | 2013-08-02 |
公开(公告)号: | CN104008982A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 周世文 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/48 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张振军 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种芯片封装工艺及芯片封装,芯片封装工艺包括下列步骤:提供晶圆。晶圆具有主动表面以及相对于主动表面的背面。晶圆包括多个彼此连接且数组排列的芯片。设置可挠性重配置线路薄膜于晶圆的背面上。可挠性重配置线路薄膜包括多个数组排列且对应于芯片的重配置线路图案。切割晶圆及可挠性重配置线路薄膜以使芯片彼此分离,并使重配置线路图案彼此分离。将其中一个芯片设置于承载器上,并使芯片的主动表面朝向承载器。设置电子组件于重配置线路图案上。通过多个连接端子电性连接电子组件与承载器。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 工艺 | ||
【主权项】:
一种芯片封装工艺,其特征在于,包括:提供晶圆,该晶圆具有主动表面以及相对于该主动表面的背面,其中该晶圆包括多个彼此连接且数组排列的第一芯片;设置可挠性重配置线路薄膜于该晶圆的该背面上,其中该可挠性重配置线路薄膜包括多个数组排列且对应于所述多个第一芯片的重配置线路图案;切割该晶圆以及该可挠性重配置线路薄膜以使所述多个第一芯片彼此分离,并且使所述多个重配置线路图案彼此分离;将其中一个第一芯片设置于承载器上,并使该第一芯片的该主动表面朝向该承载器;设置电子组件于该第一芯片上的该重配置线路图案上;以及通过多个连接端子电性连接该电子组件与该承载器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南茂科技股份有限公司,未经南茂科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310335386.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造