[发明专利]电感耦合等离子体处理装置及其控制方法

摘要

电感耦合等离子体处理装置具备：可变电容器控制装置，包括安装在源线圈上控制源线圈阻抗的可变电容器、使可变电容器自动旋转的电机及检测电机旋转的外部编码器；多个从控制器，对各个可变电容器控制装置分组并按组控制；主计算机，网络连接从控制器以控制从控制器，从控制器从主计算机接收分组后的可变电容器的动作最小值或设定最小值后储存，从主计算机接收起始序列动作命令后，驱动电机使可变电容器以动作最小值或设定最小值动作后达到动作设定值。本发明的电感耦合等离子体控制装置及其控制方法，通过电机精密控制连接在源线圈上调节阻抗的可变电容器的动作，有效控制多个源线圈阻抗，能够对多个可变电容器进行精密自动控制。

主权项

一种电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于，具备：腔室；多个源线圈，其设置在所述腔室的上部的电介质窗外侧；可变电容器控制装置，其包括安装在各个所述源线圈上用于控制所述源线圈的阻抗的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及检测所述电机的旋转的外部编码器；多个从控制器，其对设置在各个所述源线圈上的各个所述可变电容器控装置进行分组后，按组进行控制；主计算机，其通过网络与所述从控制器连接，以便控制所述多个从控制器，所述从控制器从所述主计算机接收被分组的所述可变电容器的动作最小值或设定最小值并储存，所述从控制器从所述主计算机接收起始序列动作命令时，驱动所述电机使相应的所述可变电容器以动作最小值或设定最小值进行动作后，达到动作设定值。