[发明专利]一种有机镀膜装置及方法有效
| 申请号： | 201310231659.3 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103305794A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 沈武林;姜春生;代青;陈海晶;袁广才;方金钢 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机镀膜装置及方法，包括：蒸镀设备、电子发射装置和喷淋设备；其中蒸镀设备包括蒸发容器，蒸发容器为线性蒸发容器，从蒸发容器中产生均匀的有机气体；电子发射装置水平设置在蒸发容器的上方，使得从蒸发容器蒸发出的有机气体均匀带电，得到带电的有机气体；喷淋设备通过电场的作用力使得带电的有机气体往背板运动，在背板上形成有机膜。本发明通过将蒸发的有机气体均匀带电，提高有机材料的利用率，再利用电场对带电的有机气体进行加速，并从喷淋设备中将有机气体均匀喷出，通过掩膜沉积在背板上，提高成膜的精度和速率，大面积成膜时保证膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种有机镀膜装置，其特征在于，包括蒸镀设备、电子发射装置和喷淋设备；其中所述蒸镀设备包括蒸发容器，所述蒸发容器为线性蒸发容器，从所述蒸发容器中产生均匀的有机气体；所述电子发射装置水平设置在所述蒸发容器的上方，使得从所述蒸发容器蒸发出的有机气体均匀带电，得到带电的有机气体；所述喷淋设备通过电场的作用力使得所述带电的有机气体往背板运动，在所述背板上形成有机膜。
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