[发明专利]PIN超结结构有效
申请号: | 201310085640.2 | 申请日: | 2013-03-18 |
公开(公告)号: | CN103839977B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 张文亮;朱阳军;卢烁今;胡爱斌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;上海联星电子有限公司;江苏中科君芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/73 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种PIN超结结构,包括N型柱、P型柱、发射极、基区、发射极金属层、缓冲层、集电极、集电极金属层及本征区;所述N型柱依次通过缓冲层、集电极与集电极金属层连接;所述P型柱与所述基区连接;所述发射极金属层分别与发射极及基区电学连接;所述本征区设置在N型柱及P型柱之间。本发明提供的PIN超结结构,在传统的N+/P+柱之间加入本征区域,从而使N+/P+柱的宽度和掺杂浓度的约束关系去除,不仅能给器件设计提供更大的自由度,还能更好的去折中器件的性能。 | ||
搜索关键词: | pin 结构 | ||
【主权项】:
一种PIN超结结构,其特征在于,包括:N型柱、P型柱、发射极、基区、发射极金属层、缓冲层、集电极、集电极金属层及本征区;所述N型柱依次通过缓冲层、集电极与集电极金属层连接;所述P型柱与所述基区连接;所述发射极金属层分别与发射极及基区电学连接;所述本征区设置在N型柱及P型柱之间;所述本征区包括N‑区域和P‑区域,构成N+N‑P‑P+结构,或,超结结构,构成N+N+P+P+结构。
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