[发明专利]一种恒流二极管及其制造方法有效
| 申请号： | 201310001966.2 | 申请日： | 2013-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103035746A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 聂卫东;易法友;沈健雄 | 申请（专利权）人： | 无锡市晶源微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种恒流二极管及其制造方法，包括形成有漏极区的衬底，在所述衬底上形成有外延层，在所述外延层上表面形成源极区，在所述源极区两侧的外延层上还分别开设有槽，所述槽内填充有氧化物和多晶形成栅极区。制造方法包括：投料；外延生长；表面氧化层；表面开槽；表面氧化层剥离；槽内氧化；槽内多晶填充；表面多晶刻蚀；表面氧化层淀积；接触孔刻蚀；源极注入，推结深；蒸铝，腐蚀铝；背面减薄，背面背银。本发明提出的新结构的恒流二极管，通过成熟的开槽工艺代替传统的P型扩散结，将栅极的宽度从1.5um减小为0.5um以下。其和传统型的比较，能够通过的电流要大30%以上，成本更低。加工更容易控制，量产更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种恒流二极管，包括形成有漏极区的衬底，在所述衬底上形成有外延层，在所述外延层上表面形成源极区，其特征在于，在所述源极区两侧的外延层上还分别开设有槽，所述槽内填充有氧化物和多晶形成栅极区。
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