[发明专利]片式膜衰减器厚膜制作方法

摘要

本发明公开了一种片式膜衰减器厚膜制作方法，包括丝网制作、印刷表电极、印刷背电极、印刷电阻体、激光调阻、裂片、端涂、电镀等工艺，而制出的衰减器具有体积小、重量轻、性能稳定、膜层多、能够进行不同切割方向调阻,电阻温度系数一致性很好，缩小了产品体积，使用方便，且生产设备和工装夹具成本低，能连续大批量进行生产，电阻值范围极宽，可批量生产；同时，在工艺制作过程中可根据需要调整电阻值，衰减器参数设计非常灵活。

主权项

一种片式膜衰减器厚膜制作方法，其特征在于，包括丝网制作、印刷表电极、印刷背电极、印刷电阻体、激光调阻、裂片、端涂、电镀，具体制作方法如下：①按常规方法印刷丝网图形制作、印刷表电极，保证印刷厚度干燥后达到13～22微米，印刷厚度烧成后达到6～13微米；②按常规方法印刷背电极，保证印刷厚度干燥后达到8～17微米；③将印刷有表、背电极的基片在850℃下烧成；④采用常规印刷方式分步印刷电阻体，使电阻膜层与表电极膜层之间的错位≤0.1毫米，并保证印刷膜厚干燥后达到14～22微米，印刷膜厚烧成后达到7～15微米；⑤按常规方法印刷一次玻璃，保证印刷厚度干燥后达到12～26微米，在600℃下烧成；⑥按常规方法印刷二次玻璃，印刷三层，将电阻体、一次玻璃及表电极W方向完全覆盖，保证印刷膜厚干燥后达到30～70微米，印刷标志玻璃，端涂，600℃烧成；⑦使用探针卡通过不同方向上切割对三个电阻采用逐次逼近法进行调阻，印刷包封层；⑧按常规方式依次进行一次裂片、二次裂片、端涂；电镀。