[发明专利]化学汽相沉积膜轮廓均匀性控制

摘要

本公开提供了控制化学汽相沉积(CVD)膜的轮廓均匀性的方法和系统。一种方法包括利用第一喷头通过CVD在衬底上沉积第一层，该第一层具有第一轮廓，以及利用第二喷头通过CVD在第一层上方沉积第二层，该第二层具有第二轮廓。组合的第一层和第二层具有第三轮廓，并且第一轮廓、第二轮廓，以及第三轮廓彼此不同。

主权项

一种控制化学汽相沉积(CVD)膜轮廓均匀性的方法，所述方法包括：利用第一喷头通过CVD在衬底上沉积第一层，所述第一层具有第一轮廓；以及利用第二喷头通过CVD在所述第一层上方沉积第二层，所述第二层具有第二轮廓，其中，组合的第一层和第二层具有第三轮廓，以及其中，所述第一轮廓、所述第二轮廓以及所述第三轮廓彼此不同。