[发明专利]一种无结场效应晶体管有效

专利信息
申请号: 201210232954.6 申请日: 2012-07-06
公开(公告)号: CN102779851A 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 楼海君;林信南;李冰华;何进 申请(专利权)人: 北京大学深圳研究生院
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/08;H01L29/10
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 郭燕
地址: 518055 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种无结场效应晶体管,包括源区、沟道区和漏区,所述源区和漏区分别形成在沟道区两端,沟道区与漏区的掺杂类型一致,沟道区与漏区的浓度一致,所述源区为使源区与所述沟道区形成无势垒结的金属硅化物。与一般的无结晶体管相比,本申请的晶体管提升了无结器件的电流驱动能力,改善了无结器件性能的稳定性,为器件的进一步缩小和在集成电路中的应用提供一种新思路和方案。
搜索关键词: 一种 场效应 晶体管
【主权项】:
一种无结场效应晶体管,包括源区、沟道区和漏区,所述源区和漏区分别形成在沟道区两端,其特征在于,所述沟道区与漏区的掺杂类型一致,所述沟道区与漏区的掺杂浓度一致,所述源区为使源区与所述沟道区形成无势垒结的金属硅化物。
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