[发明专利]一种无结场效应晶体管有效
申请号: | 201210232954.6 | 申请日: | 2012-07-06 |
公开(公告)号: | CN102779851A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 楼海君;林信南;李冰华;何进 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究生院 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/08;H01L29/10 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕 |
地址: | 518055 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种无结场效应晶体管,包括源区、沟道区和漏区,所述源区和漏区分别形成在沟道区两端,沟道区与漏区的掺杂类型一致,沟道区与漏区的浓度一致,所述源区为使源区与所述沟道区形成无势垒结的金属硅化物。与一般的无结晶体管相比,本申请的晶体管提升了无结器件的电流驱动能力,改善了无结器件性能的稳定性,为器件的进一步缩小和在集成电路中的应用提供一种新思路和方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 场效应 晶体管 | ||
【主权项】:
一种无结场效应晶体管,包括源区、沟道区和漏区,所述源区和漏区分别形成在沟道区两端,其特征在于,所述沟道区与漏区的掺杂类型一致,所述沟道区与漏区的掺杂浓度一致,所述源区为使源区与所述沟道区形成无势垒结的金属硅化物。
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