[发明专利]等离子体处理装置及其电感耦合线圈有效
| 申请号： | 201210175948.1 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103456592A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 叶如彬;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体处理装置及其电感耦合线圈，将电感耦合等离子体处理装置中，原先使用的单匝螺旋线圈结构，改变为具有若干组包含多个1/2、1/4或1/6等圆环的环段，并对这些环段的连线方式做了改进，以使该线圈上径向相邻环段的射频电流方向相反，则反应腔室内产生的等离子体在晶圆上方沿径向的分布更为均匀，能够适应对更大直径的晶圆进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 及其 电感 耦合 线圈 | ||
【主权项】：
一种电感耦合线圈，用于等离子体处理装置，通过在该线圈上施加射频电流来产生电磁场，其特征在于，所述电感耦合线圈是平面结构的线圈，该线圈中设有多个沿线圈径向间隔布置的导电的环段，其中任意两个在径向上相邻的所述环段上流过的射频电流方向是相反的。
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