[发明专利]一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法无效
| 申请号： | 201210174234.9 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102683518A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王家鑫;吴奎;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法，包括：在蓝宝石衬底上淀积二氧化硅膜；在二氧化硅膜上，排布一单层紧密排列的自组装球；加热；刻蚀聚苯乙烯球，经过刻蚀后，聚苯乙烯球间距变大，球半径减小；再加热；在自组装球表面、间隙及二氧化硅膜的表面蒸镀金属；采用甲苯超声方法，去除自组装球表面的金属；高温处理，使自组装球气化，使保留的金属形成网孔状金属掩膜；以网孔状金属为掩膜，用F基等离子体ICP的方法，刻蚀二氧化硅膜；以网孔状金属为掩膜，用Cl基等离子体刻蚀方法，刻蚀蓝宝石衬底，或者用硫酸和磷酸的混合液湿法刻蚀得到纳米孔状蓝宝石图形衬底；用王水或强酸溶液去除金属掩膜，用氢氟酸溶液去除二氧化硅膜，得到蓝宝石纳米孔状图形衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 纳米 图形 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的制备方法，包括以下步骤：1)在蓝宝石衬底上淀积一层二氧化硅膜；2)在二氧化硅膜上，排布一单层紧密排列的自组装球；3)加热，使自组装球与二氧化硅膜结合牢固；4)采用ICP方法，刻蚀聚苯乙烯球，经过刻蚀后，聚苯乙烯球间距变大，球半径减小；5)再加热，使自组装球在二氧化硅膜上有稍微塌陷；6)在自组装球表面、间隙及二氧化硅膜的表面蒸镀金属；7)采用甲苯超声方法，去除自组装球表面的金属；8)高温处理，使自组装球气化，使保留的金属形成网孔状金属掩膜；9)以网孔状金属为掩膜，用F基等离子体ICP的方法，刻蚀二氧化硅膜；10)以网孔状金属为掩膜，用Cl基等离子体刻蚀方法，刻蚀蓝宝石衬底，或者用硫酸和磷酸的混合液湿法刻蚀得到纳米孔状蓝宝石图形衬底；11)用王水或强酸溶液去除金属掩膜，用氢氟酸溶液去除二氧化硅膜，得到蓝宝石纳米孔状图形衬底。
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