[发明专利]金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201210161189.3 | 申请日： | 2012-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN102790079A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 付军;王玉东;张伟;李高庆;吴正立;崔杰;赵悦;刘志弘 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/737;H01L21/28;H01L21/331 |
| 代理公司： | 北京中伟智信专利商标代理事务所 11325 | 代理人： | 张岱 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管，为解决现有产品基极电阻RB大等缺陷而设计。本发明金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管主要包括Si集电区、局部介质区、基区、基区低电阻金属硅化物层、重掺杂多晶硅发射区、发射区-基区隔离介质区、重掺杂单晶发射区、接触孔介质层、发射极金属电极以及基极金属电极。基区低电阻金属硅化物层延伸至发射区-基区隔离介质区外侧。本发明公开一种金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管制备方法，用于制备上述双极晶体管。本发明金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管有效地降低了基极电阻RB。本发明金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管制备方法工艺步骤简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 金属硅 对准 锗硅异质结 双极晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属硅化物自对准锗硅异质结双极晶体管，所述晶体管主要包括Si集电区、局部介质区、Si集电区和局部介质区上方的基区、基区上方的重掺杂多晶硅发射区和发射区‑基区隔离介质区、发射区‑基区隔离介质区围成的发射区窗口下的重掺杂单晶发射区、基区表面的基区低电阻金属硅化物层、接触孔介质层、发射极金属电极以及基极金属电极；其中，所述基区由单晶锗硅基区、重掺杂单晶锗硅基区和重掺杂多晶锗硅基区组成；所述发射区‑基区隔离介质区由L形氧化硅层和氮化硅侧墙构成，其特征在于：所述基区低电阻金属硅化物层一直延伸至发射区‑基区隔离介质区外侧。
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