[发明专利]对位辅助板有效
| 申请号： | 201210010694.8 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205681B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对位辅助板，用于掩模板与掩模框架之间的间接对位。具体地，这种对位辅助板的尺寸与掩模板的尺寸相同，且包括至少两个对位孔和至少两个挂孔。对位辅助板的对位孔与掩模板的对位孔的相对位置相同，且其直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同。对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，对位辅助板的挂孔能与基台上的挂钩配合以将对位辅助板固定在基台上。并且，对位辅助板的对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 辅助 | ||
【主权项】：
一种对位辅助板，用于掩模板与掩模框架之间的间接对位，其特征在于，对位辅助板的尺寸与掩模板的尺寸相同，且对位辅助板包括至少两个对位孔以及至少两个挂孔，其中，对位辅助板的对位孔与掩模板的对位孔的相对位置相同，且其直径与掩模框架上相对应位置处的对位孔的直径相同，其中，对位辅助板的尺寸大于掩模框架的尺寸，使得对位辅助板的挂孔能与基台上的挂钩配合以将对位辅助板固定在基台上，并且其中，对位辅助板的对位孔的直径大于相对应的掩模板对位孔的直径。
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